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J-GLOBAL ID：201202291828964790   整理番号：12A1429681

接点エッジ粗さとCD均一性測定に及ぼす雑音影響

Noise effects on contact edge roughness and CD uniformity measurement

著者 (4件)： CONSTANTOUDIS V. (NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC) ,  MURUGESAN KUPPUSWAMY V. K. (NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC) ,  MURUGESAN KUPPUSWAMY V. K. (NTUA, Athens, GRC) ,  GOGOLIDES E. (NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8324  号： Pt.1  ページ： 83240K.1-83240K.10  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トップダウンSEM画像の分析により測定するときに,接点エッジの寸法と粗さを特性化するパラメータに及ぼす雑音の影響を検討した。この影響を接点エッジ粗さ(CER)計測で広く使用される実験的トップダウンに類似する合成SEM画像を利用することにより調べた。制御されたCERパラメータおよび雑音振幅により合成SEM画像の作成のモデル化方法論の工程を記述した。粗さエッジ付き画像と平滑な画像のCERに及ぼす雑音の影響をモデル化した結果について検討した。

シソーラス用語： 均一性 ,  長さ ,  表面粗さ ,  *画像分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  雑音 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： CD均一性 ,  接点エッジ粗さ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： エッジ ,  CD均一性 ,  雑音