文献

J-GLOBAL ID：201202292519663730   整理番号：12A1508030

SiO₂接着剤層上における垂直配向SiO₂ナノピラーアレイ

Perpendicularly Oriented SiO₂ Nanopillar Array on SiO₂ Adhesive Layer

著者 (6件)： YAMASHITA Nanae (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOMIYAMA Hideaki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  ZHAO Yongbin (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOMURA Motonori (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  IYODA Tomokazu (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  NAGAI Keiji (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 37  号： 3  ページ： 421-424  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリ(エチレンオキシド)および側鎖にアゾベンゼンメソゲンを有するポリ(メタクリレート)から成る,PEO_m-b-PMA(Az)_nの一連の液晶ブロック共重合体を開発した。これは,色々な基板上で垂直に配向し,高アスペクト比の高秩序化PEO円筒をPMA(Az)マトリックス中で形成する。本研究では,このブロック共重合体(PEO_m-b-PMA(Az)_n)のミクロ相分離薄膜をナノテンプレートとして用いて,シリカ(SiO₂)ナノピラーアレイを作製した。即ち,TEOSとHCl水溶液との反応によりSiO₂ゾルを形成し,これをSiウエハ上にスピンコーティングして接着剤層を作製,さらにその上にPEO₂₇₂-b-PMA(Az)₉₄ブロック共重合体テンプレートをスピンコーティング,アニーリング後,SiO₂前駆体溶液に浸漬,電子ビーム照射架橋,550°Cでか焼して基板に垂直配向したSiO₂ナノピラーアレイを作製した。ブロック共重合体テンプレートおよび得られたSiO₂ナノピラーアレイのナノ構造をAFM,FE-SEMおよび斜入射小角X線散乱(GI-SAXS)法により調べた。その結果,SiO₂/Siウエハ基板上では,ブロック共重合体中のPEOが基板に対して垂直に配向して,ナノシリンダ状のミクロドメインを形成し,これをSiO₂前駆体に浸漬すると,シリンダ状のPEO部分へSiO₂前駆体溶液が導入され,か焼によりSi-O-Si結合が生成して,テーパ構造,垂直配向のSiO₂ナノピラーアレイが生成することが分った。

シソーラス用語： *酸化ケイ素 ,  ナノ構造 ,  柱 ,  *微細加工 ,  *配列 ,  基板 ,  ウエハ【IC】 ,  *ゾル-ゲル法 ,  ケイ素化合物 ,  アルコラート ,  *高分子液晶 ,  *ブロック共重合体 ,  ポリエチレンオキシド ,  側鎖 ,  アゾ化合物 ,  芳香族化合物 ,  メソゲン ,  ポリメタクリル酸エステル ,  分子配向 ,  スピンコーティング ,  電子照射 ,  か焼 ,  脂肪族アルコール ,  無機酸エステル ,  *ナノピラー ,  *垂直配向 ,  シリコンウエハ ,  アゾベンゼン類 ,  立体
準シソーラス用語： Siウエハ ,  アゾベンゼン誘導体 ,  ナノシリンダ ,  ピラーアレイ ,  電子ビーム照射

分類 (4件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  液晶一般  (BK03010L) ,  共重合  (CG04030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： TEOS

引用文献 (17件)：

• [1] K. S. Kim, H. Jeong, M. S. Jeong, and G. Y. Jung, Adv. Funct. Mater., 20, 3055-3063 (2010).
• [2] M. Paulose, K. Shankar, S. Yoriya, H. E. Prakasam, 0. K. Varghese, G. K. Mor, T. A. Latempa, A. Fitzgerald, and C.A. Grimes, J. Phys. Chem. B, 110, 16179-16184 (2006).
• [3] H. Tang, G. Meng, Q. Huang, Z. Zhang, Z. Huang, and C. Zhu, Adv. Funct. Mater., 22, 218-224 (2012).
• [4] J. Lee, and J.Y. Jho, Solar Energy Materials & Solar Cells, 95, 3152-3156 (2011).
• [5] P. M. Ajayan, 0. Stephan, Ph. Redlich and, C. Colliex, Nature, 15, 564-567 (1995).

タイトルに関連する用語 (4件)： SiO2 ,  接着剤層 ,  垂直配向 ,  ピラーアレイ