抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ボルト締めランジュバン型振動子を用いた極低温用超音波モータの試作・評価を行った。PZTと比較して極低温環境における圧電性の低下が小さい,マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛(PMN-PT)単結晶を駆動源に使用している。超音波モータは,エンコーダ部を含め,最大幅30mm,最大長38.7mmである。室温から4.5Kまで温度を変化させ,超音波モータの駆動評価を行った。(著者抄録)