特許
J-GLOBAL ID：201203003046407784

圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス

発明者：
伊井 稔博

伊井 稔博 について

, 
内藤 松太郎

内藤 松太郎 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-060457
公開番号（公開出願番号）：特開2012-199602
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】屈曲振動等の輪郭振動モードとの結合がなく、且つCIの小さなメサ構造の圧電振動素子を得る。【解決手段】圧電振動素子100は、圧電基板10と、両主面に夫々対向配置された各励振電極20と、引出電極22と、パッド24と、を備えた圧電振動素子である。圧電基板10は、中央に位置する励振部14と、その周縁に設けられた薄肉の周辺部12と、を有し、励振部14の対向する2つの側面は夫々無段差状の平面であり、励振部14の他の対向する2つの側面は夫々厚み方向に段差部を有している。各パッド24は、圧電基板10の各角隅部と対応する位置に、圧電基板10を支持部材に固定する支持領域26を有し、励振電極20は、励振部14と周辺部12の少なくとも一部との振動領域に跨って形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電基板と、前記圧電基板の両主面に夫々対向配置された各励振電極と、前記各励振電極から該圧電基板の一方の端部に向かって延びる引出電極と、前記各引出電極と電気的に接続され前記圧電基板の2つの角隅部に夫々形成されたパッドと、を備えた圧電振動素子であって、 前記圧電基板は、中央に位置する励振部と、前記励振部の厚みより薄肉で前記励振部の周縁に設けられた周辺部と、を有し、 前記励振部の対向する2つの側面は夫々無段差状の平面であり、前記励振部の他の対向する2つの側面は夫々厚み方向に段差部を有し、 前記圧電基板の各角隅部の前記各パッドと対応する位置に、前記圧電基板を支持部材に固定する支持領域を有し、 前記励振電極は、前記励振部と前記周辺部の少なくとも一部の振動領域とに跨って形成されていることを特徴とする圧電振動素子。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (9件)：
H03H9/19 C ,  H03H9/19 B ,  H03H9/19 A ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (33件)：
5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079FA14 ,  5J079FA24 ,  5J079FA26 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA22 ,  5J079JA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC05 ,  5J108CC08 ,  5J108CC12 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108JJ02 ,  5J108JJ03 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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