特許

J-GLOBAL ID：201003007224230096

水晶振動片およびその製造方法

発明者： 山下 剛
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-277804
公開番号（公開出願番号）：特開2010-109527
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：

【課題】外周部に主振動である厚みすべり振動が伝播することを抑制する構造を有する水晶振動片、およびその製造方法を提供する。【解決手段】ATカット水晶振動片10は、ATカットされた水晶基材の両主面の相対向する位置に、平面視で矩形状を呈する凸部5A,5Bが形成された所謂メサ構造を有している。各凸部5A,5B上には励振電極15A,15Bがそれぞれ設けられ、水晶基材1の薄肉の外周部の外周面6A,6Bの一端側近傍には、電極間配線16A,16Bによりそれぞれ対応した励振電極15A,15Bに接続された外部接続電極17A,17Bが設けられている。凸部5A,5Bの外周には、外周面6A,6B上および凸部5A,5Bそれぞれの側壁に凸部5A,5Bよりも厚みを少なくして形成された段部25A,25Bが各凸部5A,5Bの外周を縁取るように設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ATカットされた水晶基材の両主面の少なくとも一方の主面に所定の形状の凸部が設けられ、前記凸部上に励振電極が形成され、前記凸部の外周部分の少なくともX軸(電気軸)側に、堆積物からなり前記凸部よりも厚みの少ない段部が設けられていることを特徴とする水晶振動片。

IPC (4件)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24

FI (4件)：

H03H9/19 D ,  H03H3/02 B ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 A

Fターム (12件)：

5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC05 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108HH02 ,  5J108HH06 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭58-47316号公報
  

審査官引用 (5件)

• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-290818   出願人：日本電波工業株式会社
• メサ型圧電振動片
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-315733   出願人：エプソントヨコム株式会社
• メサ型水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-162086   出願人：エプソントヨコム株式会社
• 高周波圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-144048   出願人：東洋通信機株式会社
• ATカット水晶振動子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-134244   出願人：東洋通信機株式会社