特許
J-GLOBAL ID：201203006243567121
エンコーダ、光学モジュール及びサーボシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
益田 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-027255
公開番号（公開出願番号）：特開2012-167949
出願日： 2011年02月10日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：
【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイSA1,SA2と、スリットアレイの一部に対向し測定軸C上で相対移動可能な光学モジュール130とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源131と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅R方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイPA1,PA2とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Enが測定軸に沿った位置になるように並べられる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイと、
前記スリットアレイの一部に対向しつつ、該スリットアレイに対して前記測定軸上で相対移動可能な光学モジュールと、
を備え、
前記光学モジュールは、
前記スリットアレイの一部に光を照射する点光源と、
前記スリットアレイと平行な面内において前記測定軸と垂直な幅方向で前記点光源に対してオフセットした位置に配置され、前記点光源から照射されて前記反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が前記測定軸に沿って並べられた受光アレイと、
を有し、
前記複数の受光素子は、前記測定軸方向で前記点光源に近い受光素子ほど前記幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、前記幅方向における前記点光源と反対側の端部が前記測定軸に沿った位置になるように並べられる、エンコーダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F103BA10
, 2F103BA29
, 2F103BA32
, 2F103CA03
, 2F103DA06
, 2F103DA11
, 2F103DA12
, 2F103DA13
, 2F103EA12
, 2F103EA19
, 2F103EA21
, 2F103EA24
, 2F103EB04
, 2F103EB06
, 2F103EB15
, 2F103EB16
, 2F103ED07
, 2F103FA06
