真空ポンプ用モータ駆動装置およびポンプシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-144707
公開番号（公開出願番号）：特開2012-010499
出願日： 2010年06月25日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：

【課題】モータ電流の高調波成分を低減することができる、真空ポンプ用モータ駆動装置の提供。【解決手段】排気機能部としての回転翼およびネジロータが形成されたロータをモータで回転駆動して排気を行うターボ分子ポンプのモータ駆動装置において、モータを駆動するインバータ43と、インバータ43のインバータ入力電圧として、異なる複数の設定電圧を有する直流電圧源としてのDC/DCコンバータ41と、モータ負荷情報に応じてDC/DCコンバータ41の設定電圧を切り換える電圧切換手段としてのモータ制御回路44とを備え、モータ制御回路44は、モータの回転数が所定の目標回転数に維持されるようにPWM信号のデューティ比を設定し、インバータ43をPWM制御するようにした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

排気機能部が形成されたロータをモータで回転駆動して排気を行う真空ポンプに用いられる真空ポンプ用モータ駆動装置であって、前記モータを駆動するインバータと、前記インバータのインバータ入力電圧として異なる複数の設定電圧を有する直流電圧源と、モータ負荷情報に応じて前記直流電圧源の設定電圧を切り換える電圧切換手段と、前記モータの回転数が所定の目標回転数に維持されるようにPWM信号のデューティ比を設定し、前記インバータをPWM制御するモータ制御回路と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ用モータ駆動装置。

IPC (3件)：

H02P 27/06 , H02P 6/06 , F04D 19/04

FI (3件)：

H02P7/63 303V , H02P6/02 341J , F04D19/04 H

Fターム (40件)：

3H131AA02 , 3H131BA13 , 3H131CA40 , 3H131CA41 , 5H505AA01 , 5H505BB02 , 5H505BB04 , 5H505BB05 , 5H505CC05 , 5H505DD08 , 5H505EE49 , 5H505EE55 , 5H505EE57 , 5H505FF02 , 5H505GG02 , 5H505GG04 , 5H505GG05 , 5H505HA09 , 5H505HA10 , 5H505HB02 , 5H505JJ09 , 5H505LL09 , 5H505LL22 , 5H505LL24 , 5H560AA10 , 5H560BB04 , 5H560BB07 , 5H560BB12 , 5H560DB03 , 5H560DC12 , 5H560DC13 , 5H560EB01 , 5H560RR10 , 5H560SS06 , 5H560UA05 , 5H560UA06 , 5H560XA02 , 5H560XA03 , 5H560XA04 , 5H560XA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

タ-ボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-005781 出願人：株式会社島津製作所
ターボ分子ポンプ駆動電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-345422 出願人：株式会社荏原製作所
特開平2-215996

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