特許
J-GLOBAL ID:201203014645921811
粒子状物質検出センサ素子及び粒子状物質検出センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人あいち国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-152818
公開番号(公開出願番号):特開2012-013639
出願日: 2010年07月05日
公開日(公表日): 2012年01月19日
要約:
【課題】被測定ガスに含まれる導電性微粒子の個数を検出できる粒子状物質検出センサ素子を提供する。【解決手段】粒子状物質検出センサ素子1は、絶縁基板2と、該絶縁基板2の表面に形成された複数の検出部3とを備える。個々の検出部3は、所定の間隔をおいて相対向する一対の電極4,5からなり、被測定ガスに含まれる導電性微粒子6を一対の電極4,5の間に捕集する。検出部3は、一対の電極4,5間の電気抵抗を測定することにより、一対の電極4,5間に捕集した導電性微粒子6の量を検出できるよう構成されている。複数の検出部3は、捕集する導電性微粒子6の最大粒径が、個々の検出部3ごとに異なる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
絶縁基板と、
該絶縁基板の表面に形成された複数の検出部とを備え、
個々の上記検出部は、所定の間隔をおいて相対向する一対の電極からなり、被測定ガスに含まれる導電性微粒子を上記一対の電極の間に捕集すると共に、該一対の電極間の電気抵抗を測定することにより、上記一対の電極間に捕集した上記導電性微粒子の量を検出できるよう構成されており、
上記複数の検出部は、捕集する上記導電性微粒子の最大粒径が、個々の上記検出部ごとに異なるよう構成されていることを特徴とする粒子状物質検出センサ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N15/14 K
, G01N15/02 F
引用特許:
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