加工位置調製方法及び加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 伊藤憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004487
公開番号（公開出願番号）：特開2012-146831
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】二つの加工手段を供えた加工装置のヘアライン合わせを迅速に達成可能な加工位置調整方法を提供することである。【解決手段】第1加工手段と、第2加工手段と、第1加工手段に隣接して配設された撮像手段とを備えた加工装置において、第1及び第2加工手段の加工位置をそれぞれ調整する加工位置調整方法であって、撮像手段は撮像領域内に第1方向に伸長する第1基準線と、第1方向に直交する第2方向に伸長する第2基準線とを有している。よって、本発明の加工位置調整方法では、第1加工手段の加工位置を第1基準線に基づいて調整した後、被加工物を90度回転させてから、第2加工手段の加工位置を第2基準線に基づいて調整する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

第1方向に伸長する複数の第1加工予定ラインが設定された被加工物を該第1加工予定ラインに沿って加工する第1加工手段と、被加工物を該第1加工予定ラインに沿って加工する該第1加工手段に対向して配設された第2加工手段と、該第1加工手段に隣接して配置され撮像領域内に該第1方向に伸長する第1基準線と該第1基準線に直交する第2基準線とを有する被加工物を撮像する撮像手段と、を備えた加工装置で該第1加工手段と該第2加工手段の加工位置をそれぞれ調整する加工位置調整方法であって、該第1加工手段で被加工物を該第1方向に加工して第1調整用加工溝を形成するとともに、該第2加工手段で被加工物を該第1方向に加工して第2調整用加工溝を形成する調整用加工溝形成ステップと、該第1調整用加工溝を撮像手段で撮像して、該撮像手段の撮像領域内で該第1調整用加工溝の該第1基準線からの該第1方向に直交する第2方向における第1のずれ量とずれ方向を検出する第1の実加工位置ずれ検出ステップと、該第1の実加工位置ずれ検出ステップで検出した該第1調整用加工溝のずれ方向を打ち消す方向に前記第1のずれ量だけ移動させた位置を該第1加工手段の実加工位置として補正する第1加工位置補正ステップと、被加工物を90度回転させる回転ステップと、該回転ステップを実施した後、該第2調整用加工溝を該撮像手段で撮像して、該撮像手段の撮像領域内で該第2調整用加工溝の該第2基準線からの該第1方向における第2のずれ量とずれ方向を検出する第2の実加工位置ずれ検出ステップと、該第2の実加工位置ずれ検出ステップで検出した該第2調整用加工溝のずれ方向を打ち消す方向に前記第2のずれ量だけ移動させた位置を該第2加工手段の実加工位置として補正する第2加工位置補正ステップと、を具備したことを特徴とする加工位置調整方法。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

ウエーハの切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-137640 出願人：株式会社ディスコ
切削溝の計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-002766 出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (2件)

ウエーハの切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-137640 出願人：株式会社ディスコ
切削溝の計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-002766 出願人：株式会社ディスコ

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