特許
J-GLOBAL ID：201203021237558179

熱処理装置およびその制御方法

発明者：
吉 井 弘 治

吉 井 弘 治 について

, 
山 口 達 也

山 口 達 也 について

, 
王 文 凌

王 文 凌 について

, 
齋 藤 孝 規

齋 藤 孝 規 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (7件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  磯貝 克臣 ,  名塚 聡 ,  岡田 淳平 ,  森 秀行 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-044197
公開番号（公開出願番号）：特開2012-182310
出願日： 2011年03月01日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：
【課題】温度安定時に温度を均一に維持することができ、昇降温時に容易に制御することができる。【解決手段】制御装置51は個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモデル72aと、制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモデル72bをとることができる。昇降温時に少制御ゾーンモデル72bをとって少ない数の制御ゾーンC1、...C5の温度センサ50からの信号に基づいて、各制御ゾーンC1、...C5に設置されたヒータ18Aを個別に制御する。温度安定時に多制御ゾーンモデル72aをとって、多い数の制御ゾーンC1、...C10の温度センサ50からの信号に基づいて、各制御ゾーンC1、...C10に設置されたヒータ18Aを個別に制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
炉本体と、 炉本体内に配置され、炉本体との間に複数の単位領域を含む空間を形成するとともに、内部に複数の被処理体を収納する処理容器と、 炉本体内面に、空間の各単位領域に対応して設けられた加熱部と、 空間の各単位領域に対応して設けられた炉内温度センサと、 各単位領域の炉内温度センサからの信号に基づいて、当該単位領域の加熱部を制御する制御装置とを備え、制御装置は単位領域からなり個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモードと、単位領域からなり個別に制御される制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモードとを有し、昇降温時に制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモードをとって各制御ゾーンの加熱部を制御し、温度安定時に制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモードをとって各制御ゾーンの加熱部を制御することを特徴とする熱処理装置。
IPC (10件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/205 ,  F27B 5/18 ,  F27B 5/16 ,  F27D 7/06 ,  F27D 19/00 ,  F27D 9/00 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324
FI (11件)：
H01L21/31 E ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 B ,  F27B5/18 ,  F27B5/16 ,  F27D7/06 C ,  F27D19/00 A ,  F27D9/00 ,  C23C16/46 ,  H01L21/22 511A ,  H01L21/324 T
Fターム (41件)：
4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030GA07 ,  4K030KA04 ,  4K030KA23 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  4K056AA09 ,  4K056BB06 ,  4K056CA18 ,  4K056FA04 ,  4K061AA01 ,  4K061BA11 ,  4K061CA08 ,  4K061CA19 ,  4K061DA05 ,  4K061FA07 ,  4K061GA02 ,  4K063AA05 ,  4K063BA12 ,  4K063DA32 ,  4K063EA01 ,  5F045AA06 ,  5F045AA20 ,  5F045AE17 ,  5F045AE19 ,  5F045AE21 ,  5F045AE23 ,  5F045AE25 ,  5F045BB01 ,  5F045DP19 ,  5F045DP28 ,  5F045DQ05 ,  5F045EF03 ,  5F045EJ04 ,  5F045EJ10 ,  5F045EK06 ,  5F045EK22 ,  5F045EK27 ,  5F045GB05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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