特許

J-GLOBAL ID：201203021882625433

ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法

発明者： 北島 慎太郎
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  西本 博之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-190998
公開番号（公開出願番号）：特開2012-073610
出願日： 2011年09月01日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。【解決手段】ペリクル1のペリクル枠体2は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を50°C以上350°C以下としている。これにより、ペリクル枠体2に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体2と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Pの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Pの削れも防止できる。したがって、塗膜Pの亀裂等の破損の発生を抑制できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、 前記開口部の周縁を形成する枠部材の表面に塗膜を形成する塗装材のガラス転移点が50°C以上350°C以下であることを特徴とするペリクル枠体。

IPC (2件)：

G03F 1/64 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

G03F1/14 K ,  B65D85/38 R

Fターム (15件)：

2H095BC38 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096CA05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA30 ,  3E096CB02 ,  3E096DA14 ,  3E096DB07 ,  3E096DC01 ,  3E096EA06X ,  3E096FA03 ,  3E096FA08 ,  3E096FA40 ,  3E096GA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-109952   出願人：信越化学工業株式会社
• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-201761   出願人：東ソー株式会社
• フォトマスク用保護膜転写シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-053941   出願人：株式会社きもと
• 特開昭64-048062