特許
J-GLOBAL ID：201203021985425246
アルゴンガスの精製方法および精製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
根本 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-251607
公開番号（公開出願番号）：特開2012-101976
出願日： 2010年11月10日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】回収アルゴンガスに含有される不純物を、多くのエネルギーを要することなく除去して高純度のアルゴンガスを得ることができる実用的な精製方法と精製装置を提供する。【解決手段】少なくとも酸素、水素、一酸化炭素、及び窒素を不純物として含有するアルゴンガスを精製する際に、アルゴンガスにおける酸素モル濃度が一酸化炭素モル濃度と水素モル濃度との和の1/2以下である場合は、酸素添加により1/2を超える値に設定する。次に、アルゴンガスにおける酸素を一酸化炭素及び水素と触媒を用いて反応させることで、酸素を残留させた状態で二酸化炭素と水を生成する。次に、アルゴンガスにおける少なくとも酸素、二酸化炭素、窒素、及び水分を、常温での圧力スイング吸着法により吸着剤に吸着させる。その吸着剤として、LiX型合成ゼオライトと、細孔直径分布のピークが細孔直径0.35nm〜0.55nmの間にあるカーボンモレキュラーシーブを用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも酸素、水素、一酸化炭素、および窒素を不純物として含有するアルゴンガスを精製する方法であって、
前記アルゴンガスにおける酸素モル濃度が一酸化炭素モル濃度と水素モル濃度との和の1/2以下である場合は、酸素を添加することで1/2を超える値に設定する工程と、
次に、前記アルゴンガスにおける酸素を一酸化炭素および水素と触媒を用いて反応させることで、酸素を残留させた状態で二酸化炭素と水を生成する工程と、
次に、前記アルゴンガスにおける少なくとも酸素、二酸化炭素、窒素、および水分を、常温での圧力スイング吸着法により吸着剤に吸着させる工程とを備え、
前記吸着剤として、LiX型合成ゼオライトと、細孔直径分布のピークが細孔直径0.35nm〜0.55nmの間にあるカーボンモレキュラーシーブとを用いるアルゴンガスの精製方法。
IPC (3件)：
C01B 23/00
, B01D 53/04
, B01J 20/20
C01B23/00 J
, B01D53/04 B
, B01J20/20 D
4D012BA02
, 4D012BA04
, 4D012CA01
, 4D012CA03
, 4D012CA20
, 4D012CB16
, 4D012CD07
, 4D012CE01
, 4D012CF05
, 4D012CG01
, 4D012CG05
, 4D012CH05
, 4G066AA04B
, 4G066AA62B
, 4G066BA24
, 4G066CA27
, 4G066CA35
, 4G066CA37
, 4G066CA43
, 4G066DA05
, 4G066GA14
審査官引用 (8件)
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特開平2-275707
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特開平4-170309
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特開平1-056112
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