特許
J-GLOBAL ID:201203025417495332
磁気記録媒体のシード層用合金およびスパッタリングターゲット材
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
椎名 彊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-094594
公開番号(公開出願番号):特開2012-128933
出願日: 2011年04月21日
公開日(公表日): 2012年07月05日
要約:
【課題】 本発明は、垂直磁気記録媒体におけるシード層として用いるNi-Fe-Co系磁気記録媒体のシード層用合金およびスパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】 Ni-Fe-Co-M合金であって、Ni、Fe、Coの比率がat%で、Ni:Fe:Co=98〜20:0〜50:0〜60、Fe+Co≧2であり、かつ、M元素としてW,Mo,Ta,Cr,V,Nbの1種または2種以上を2〜20at%含有することを特徴とする磁気記録媒体のシード層用合金およびスパッタリングターゲット材。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
Ni-Fe-Co-M合金であって、Ni、Fe、Coの比率がat%で、Ni:Fe:Co=98〜20:0〜50:0〜60、Fe+Co≧1.5であり、かつ、M元素としてW,Mo,Ta,Cr,V,Nbの1種または2種以上を2〜20at%含有することを特徴とする磁気記録媒体のシード層用合金。
IPC (8件):
G11B 5/738
, C23C 14/34
, C22C 38/00
, C22C 19/00
, C22C 38/52
, G11B 5/667
, H01F 10/14
, H01F 41/18
FI (8件):
G11B5/738
, C23C14/34 A
, C22C38/00 302Z
, C22C19/00 Q
, C22C38/52
, G11B5/667
, H01F10/14
, H01F41/18
Fターム (11件):
4K029BD11
, 4K029DC04
, 4K029DC09
, 5D006CA04
, 5D006CA05
, 5D006DA03
, 5D006DA08
, 5E049AA07
, 5E049AA09
, 5E049BA08
, 5E049GC01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)