金属表面付着成分の濃度計測方法および装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村瀬一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-144134
公開番号（公開出願番号）：特開2012-032388
出願日： 2011年06月29日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：

【課題】照射と同時に発光が計測できるようにしてリアルタイムで計測が可能であり、かつ廃棄物が計測の過程で発生しないようにする。【解決手段】検査対象である金属表面6にパルス状のレーザー光11を照射して付着物質をアブレーションし、その後アブレーションによりプラズマ化された物質からの発光13を計測し、分光することにより、金属表面に付着する微量成分の特定と濃度を求めるようにしている。この計測方法は、狭隘な空間に面している金属表面に付着している微量成分の濃度を計測する場合には、狭隘な空間の外にレーザーと少なくとも分光器を含む濃度計測装置本体を配置し、狭隘な空間に金属表面に沿って挿入される光伝送部を介して金属表面にレーザー光を照射して付着物質をアブレーションすると共にプラズマ化し、プラズマ化された物質からの発光を光伝送部を介して狭隘な空間の外の分光手段に導いて分光すると共に受光素子で発光スペクトルを得るようにしている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

金属表面に付着している微量成分の濃度を測定する方法において、検査対象である前記金属表面にパルス状のレーザー光を照射して付着物質をアブレーションし、その後前記アブレーションによりプラズマ化された物質からの発光を計測し、分光することにより、前記金属表面に付着する微量成分の特定と濃度を求める金属表面付着成分の濃度計測方法。

IPC (2件)：

G01N 21/71 , G21C 19/06

FI (2件)：

G01N21/71 , G21C19/06 S

Fターム (19件)：

2G043AA01 , 2G043BA06 , 2G043BA07 , 2G043BA09 , 2G043CA09 , 2G043EA10 , 2G043GA08 , 2G043GB21 , 2G043HA05 , 2G043JA03 , 2G043JA04 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043NA04 , 2G043NA06

引用特許：

審査官引用 (10件)

レーザーアブレーション利用の試料測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-092852 出願人：鹿島建設株式会社
海塩粒子洗浄方法、および海塩粒子洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-152280 出願人：三菱重工業株式会社
原子炉冷却水濃度の制御方法及び装置並びに濃度計測システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-131079 出願人：三菱重工業株式会社

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