特許
J-GLOBAL ID:201203027372318453
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
田中 光雄
, 山田 卓二
, 森住 憲一
, 柴田 康夫
, 梶田 真理奈
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-281905
公開番号(公開出願番号):特開2012-018374
出願日: 2010年12月17日
公開日(公表日): 2012年01月26日
要約:
【課題】露光量が変動しても得られるパターンの幅が変動しにくいパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下記(A)、(B1)、(B2)、(C)及び(D)を含み、(B1)の含有量が、(B1)と(B2)との合計量に対して、5質量%以上80質量%以下の量である感光性樹脂組成物。(A):脂環式炭化水素構造を有する構造単位を含む樹脂(B1):炭素-炭素不飽和結合と脂環式炭化水素構造とを有する重合性化合物(B2):(B1)とは異なる重合性化合物(C):光重合開始剤(D):溶剤【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記(A)、(B1)、(B2)、(C)及び(D)を含み、(B1)の含有量が、(B1)と(B2)との合計量に対して、5質量%以上80質量%以下の量である感光性樹脂組成物。
(A):脂環式炭化水素構造を有する構造単位を含む樹脂
(B1):炭素-炭素不飽和結合と脂環式炭化水素構造とを有する重合性化合物
(B2):(B1)とは異なる重合性化合物
(C):光重合開始剤
(D):溶剤
IPC (5件):
G03F 7/027
, G03F 7/031
, G03F 7/033
, G02F 1/133
, C08F 20/00
FI (5件):
G03F7/027 502
, G03F7/031
, G03F7/033
, G02F1/1339 500
, C08F20/00
Fターム (46件):
2H125AC32
, 2H125AC36
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD15
, 2H125AD24
, 2H125AE13P
, 2H125AM66P
, 2H125AM86P
, 2H125AN29P
, 2H125AN34P
, 2H125AN36P
, 2H125AN37P
, 2H125AN39P
, 2H125AN41P
, 2H125AN56P
, 2H125AN72P
, 2H125AN89P
, 2H125BA01P
, 2H125BA02P
, 2H125BA11P
, 2H125BA13P
, 2H125BA33P
, 2H125CA21
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H189DA06
, 2H189EA06X
, 2H189EA11X
, 2H189FA16
, 2H189FA19
, 2H189HA16
, 4J100AJ02R
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08S
, 4J100BC07S
, 4J100BC54P
, 4J100BC54Q
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100DA29
, 4J100JA38
引用特許: