特許
J-GLOBAL ID:201203027372318453

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 田中 光雄 ,  山田 卓二 ,  森住 憲一 ,  柴田 康夫 ,  梶田 真理奈
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-281905
公開番号(公開出願番号):特開2012-018374
出願日: 2010年12月17日
公開日(公表日): 2012年01月26日
要約:
【課題】露光量が変動しても得られるパターンの幅が変動しにくいパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下記(A)、(B1)、(B2)、(C)及び(D)を含み、(B1)の含有量が、(B1)と(B2)との合計量に対して、5質量%以上80質量%以下の量である感光性樹脂組成物。(A):脂環式炭化水素構造を有する構造単位を含む樹脂(B1):炭素-炭素不飽和結合と脂環式炭化水素構造とを有する重合性化合物(B2):(B1)とは異なる重合性化合物(C):光重合開始剤(D):溶剤【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記(A)、(B1)、(B2)、(C)及び(D)を含み、(B1)の含有量が、(B1)と(B2)との合計量に対して、5質量%以上80質量%以下の量である感光性樹脂組成物。 (A):脂環式炭化水素構造を有する構造単位を含む樹脂 (B1):炭素-炭素不飽和結合と脂環式炭化水素構造とを有する重合性化合物 (B2):(B1)とは異なる重合性化合物 (C):光重合開始剤 (D):溶剤
IPC (5件):
G03F 7/027 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G02F 1/133 ,  C08F 20/00
FI (5件):
G03F7/027 502 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  G02F1/1339 500 ,  C08F20/00
Fターム (46件):
2H125AC32 ,  2H125AC36 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD15 ,  2H125AD24 ,  2H125AE13P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN29P ,  2H125AN34P ,  2H125AN36P ,  2H125AN37P ,  2H125AN39P ,  2H125AN41P ,  2H125AN56P ,  2H125AN72P ,  2H125AN89P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125BA13P ,  2H125BA33P ,  2H125CA21 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H189DA06 ,  2H189EA06X ,  2H189EA11X ,  2H189FA16 ,  2H189FA19 ,  2H189HA16 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08S ,  4J100BC07S ,  4J100BC54P ,  4J100BC54Q ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100DA29 ,  4J100JA38
引用特許:
審査官引用 (4件)
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