特許
J-GLOBAL ID：201003060209496088

被エッチング基体の製造方法及び感光性樹脂組成物

発明者：
高木 利哉

高木 利哉 について

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植松 照博

植松 照博 について

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桃澤 綾

桃澤 綾 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-331082
公開番号（公開出願番号）：特開2010-152154
出願日： 2008年12月25日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】酸性及びアルカリ性条件におけるエッチング耐性を有し、かつエッチング工程終了後にアルカリ性の剥離液によって剥離することが可能な樹脂パターンをマスクとした被エッチング基体の製造方法等を提供する。【解決手段】基体上に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層を選択的に露光、現像して樹脂パターンを形成する工程と、前記樹脂パターンをマスクとし、45°C以下の酸性又はアルカリ性のエッチング液を用いて前記基体を選択的にエッチングする工程と、50〜80°Cのアルカリ性の剥離液を用いて前記樹脂パターンを剥離する工程と、を含み、前記感光性樹脂組成物が、酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により生成したアルカリ可溶性樹脂と、3官能以上の多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有する被エッチング基体の製造方法を使用する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基体上に感光性樹脂組成物を塗布し、感光性樹脂層を形成する工程と、 前記感光性樹脂層を選択的に露光した後、現像して樹脂パターンを形成する工程と、 前記樹脂パターンをマスクとし、45°C以下の酸性又はアルカリ性のエッチング液を用いて前記基体を選択的にエッチングするエッチング工程と、 50〜80°Cのアルカリ性の剥離液を用いて前記樹脂パターンを剥離する工程と、を含み、 前記感光性樹脂組成物が、酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により生成したアルカリ可溶性樹脂と、3官能以上の多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有することを特徴とする被エッチング基体の製造方法。
IPC (4件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/42 ,  G03F 7/027
FI (4件)：
G03F7/038 501 ,  G03F7/40 521 ,  G03F7/42 ,  G03F7/027
Fターム (31件)：
2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC53 ,  2H025BC82 ,  2H025BC85 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H025FA30 ,  2H025FA40 ,  2H025FA48 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA03 ,  2H096HA18 ,  2H096LA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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