特許

J-GLOBAL ID：201203032269119934

基板ホルダー及び基板搬送装置

発明者： 小泉 敏行 ,  吉瀬 寿彦
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-233108
公開番号（公開出願番号）：特開2012-089589
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及び基板搬送装置を提供する。【解決手段】被処理基板を支持するホルダー本体が、被処理基板Sの被処理面を露出させる第1開口212を有し、被処理基板Sの被処理面側の外周部に当接するマスク部材21と、第1開口よりも広い第2開口113を有し、マスク部材の外周部に当接して被処理基板の被処理面を第1開口を介して第2開口から露出させた状態でマスク部材を支持して被処理基板を支持する支持部材11と、支持部材とマスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材12とを備える。基板搬送装置はこれを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被処理基板を支持するホルダー本体と、該ホルダー本体に設けられ、被処理基板を所定位置で保持する保持部材とを備えた基板ホルダーであって、 前記ホルダー本体が、 被処理基板の被処理面を露出させる第1開口を有し、被処理基板の被処理面側の外周部に当接するマスク部材と、 前記第1開口よりも広い第2開口を有し、マスク部材の外周部に当接して前記被処理基板の前記被処理面を前記第1開口を介して第2開口から露出させた状態で該マスク部材を支持して基板を支持する支持部材と、 前記支持部材と前記マスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材とを備えることを特徴とする基板ホルダー。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  H01L 21/677

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  H01L21/68 A

Fターム (19件)：

5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA11 ,  5F031EA02 ,  5F031EA07 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031GA13 ,  5F031GA53 ,  5F031GA60 ,  5F031LA07 ,  5F031LA14 ,  5F031MA29 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-120859   出願人：株式会社IHI
• マスク用透光板固定装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-331302   出願人：株式会社オーク製作所