特許

J-GLOBAL ID：201203032518225448

シロキサンポリマー組成物、硬化膜及び硬化膜の形成方法

発明者： 上田 二朗 ,  一戸 大吾
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (6件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-212868
公開番号（公開出願番号）：特開2012-068417
出願日： 2010年09月22日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：

【課題】本発明の課題は吐出ノズル式塗布法に好適であって、塗布ムラがなく外観に優れ、また高度な平坦性(膜厚均一性)及び高速塗布を達成でき、かつ透明性、耐擦傷性に優れる保護膜及び層間絶縁膜としての硬化膜を形成可能なシロキサンポリマー組成物を提供することである。【解決手段】[A]ラジカル反応性官能基を有するシロキサンポリマー、[B]ラジカル重合開始剤、及び[C]有機溶媒を含有し、固形分濃度が5質量%以上30質量%以下であり、25°Cにおける粘度が2.0mPa・s以上10mPa・s以下であり、かつ[C]有機溶媒として、少なくとも(C1)20°Cにおける蒸気圧が0.1mmHg以上1mmHg未満の有機溶媒を含むシロキサンポリマー組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A]ラジカル反応性官能基を有するシロキサンポリマー、 [B]ラジカル重合開始剤、及び [C]有機溶媒 を含有し、 固形分濃度が5質量%以上30質量%以下であり、25°Cにおける粘度が2.0mPa・s以上10mPa・s以下であり、かつ [C]有機溶媒として、少なくとも(C1)20°Cにおける蒸気圧が0.1mmHg以上1mmHg未満の有機溶媒を含むシロキサンポリマー組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  C08G 77/04 ,  B05D 7/24

FI (7件)：

G03F7/075 511 ,  G03F7/16 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/027 ,  C08G77/04 ,  B05D7/24 302Y

Fターム (84件)：

2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC60 ,  2H125AC72 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AG00P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN15P ,  2H125AN32P ,  2H125AN35P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN61P ,  2H125BA01P ,  2H125BA33P ,  2H125CA21 ,  2H125CB06 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD12P ,  2H125CD15P ,  2H125CD31 ,  2H125CD40 ,  4D075BB21Z ,  4D075BB26Z ,  4D075BB46Z ,  4D075CA02 ,  4D075CA13 ,  4D075CA34 ,  4D075CA36 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DA10 ,  4D075DB01 ,  4D075DB31 ,  4D075DC18 ,  4D075DC21 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EA19 ,  4D075EA21 ,  4D075EB42 ,  4J246AA03 ,  4J246BA12X ,  4J246BA16X ,  4J246BB01X ,  4J246BB010 ,  4J246BB012 ,  4J246CA14X ,  4J246CA140 ,  4J246CA23E ,  4J246CA23X ,  4J246CA230 ,  4J246CA24E ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246CA27X ,  4J246CA270 ,  4J246CA46E ,  4J246CA46X ,  4J246CA460 ,  4J246CA65E ,  4J246CA65X ,  4J246CA650 ,  4J246CA68X ,  4J246CA680 ,  4J246FA071 ,  4J246FA121 ,  4J246FA321 ,  4J246FA421 ,  4J246FB083 ,  4J246GC26 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15 ,  4J246HA61 ,  4J246HA62

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-154801   出願人：東レ株式会社
• カラーフィルター用感光性レジスト組成物およびカラーフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-307557   出願人：東レ株式会社
• 着色感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-203666   出願人：住友化学株式会社
• フォトレジスト、これを用いた基板の加工方法、及びフォトレジストの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-140287   出願人：キヤノン株式会社
• ハイブリッド感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-179686   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、および液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-066758   出願人：三菱化学株式会社
• 着色組成物、カラーフィルタの製造方法およびブラックマトリックス基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-145818   出願人：凸版印刷株式会社