特許
J-GLOBAL ID：201203033345466068

液晶表示装置、及びその作製方法

発明者：
三宅 博之

三宅 博之 について

, 
荒澤 亮

荒澤 亮 について

, 
楠 紘慈

楠 紘慈 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-196782
公開番号（公開出願番号）：特開2012-084859
出願日： 2011年09月09日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：
【課題】作製工程を削減し、低コストで生産性の良い液晶表示装置を提供する。消費電力が少なく、信頼性の高い液晶表示装置を提供する。【解決手段】島状半導体層を形成するためのフォトリソグラフィ工程及びエッチング工程を省略し、ゲート電極(同一層で形成される配線等を含む)を形成する工程、ソース電極及びドレイン電極(同一層で形成される配線等含む)を形成する工程、コンタクトホールを形成する(コンタクトホール以外の絶縁層等の除去を含む)工程、画素電極(同一層で形成される配線等を含む)を形成する工程の4つのフォトリソグラフィ工程で液晶表示装置を作製する。コンタクトホールを形成する工程において、半導体層が除去された溝部を形成することで、寄生チャネルの形成を防ぐ。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、半導体層と、を有するトランジスタと、 前記ゲート電極に電気的に接続する第1の配線と、前記ソース電極に電気的に接続する第2の配線と、前記ドレイン電極に電気的に接続する画素電極と、容量配線と、溝部と、を有し、 前記半導体層は、前記第1の配線と、前記第2の配線と、前記画素電極と、前記容量配線に重畳し、 前記溝部は、前記第1の配線上に、前記第1の配線の線幅方向に横切って形成され、 また前記溝部は、前記容量配線上に、前記容量配線の線幅方向に横切って形成され、 また前記溝部は、前記第2の配線が延在する方向と平行な方向において、前記画素電極の端部を越えて形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (6件)：
H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/76 ,  H01L 21/764 ,  G02F 1/136 ,  G09F 9/30
FI (8件)：
H01L29/78 621 ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 612D ,  H01L21/76 S ,  H01L21/76 A ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338 ,  H01L29/78 618C
Fターム (128件)：
2H092GA17 ,  2H092GA29 ,  2H092HA12 ,  2H092HA18 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA08 ,  2H092KA12 ,  2H092KB03 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA28 ,  2H092NA26 ,  2H092NA27 ,  2H092QA07 ,  2H092QA09 ,  2H092QA13 ,  2H092QA14 ,  2H092RA01 ,  5C094AA22 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094FB14 ,  5C094GB10 ,  5F032AA33 ,  5F032AC02 ,  5F032AC04 ,  5F032CA05 ,  5F032CA06 ,  5F032CA07 ,  5F032CA09 ,  5F032CA14 ,  5F032CA17 ,  5F032CA21 ,  5F032DA23 ,  5F032DA24 ,  5F110AA03 ,  5F110AA06 ,  5F110AA09 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG06 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG23 ,  5F110GG25 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN34 ,  5F110NN40 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ08
引用特許：
審査官引用 (6件)
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