特許
J-GLOBAL ID：201203034181596433
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-192045
公開番号（公開出願番号）：特開2012-047675
出願日： 2010年08月30日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
【課題】検査対象体に対して検査用信号を供給したときの放電の発生を判定する際の判定精度を向上させる。【解決手段】回路基板100の導体パターン101に対して電圧信号Veを供給したときに生じる物理量(電圧または電流)を検出する複数の検出部(第1検出部3a、第2検出部3b、第3検出部3c、第4検出部3d)と、電圧信号Veの供給に伴う放電の発生の有無を検出部による検出結果に基づいて判定する制御部4とを備え、各検出部は、物理量に対する検出周波数帯域が各検出部毎に互いに異なるようにそれぞれ構成され、制御部4は、各検出部によって検出された物理量の少なくとも1つが予め決められた条件を満たすときに放電が発生したと判定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象体に対して検査用信号を供給したときに生じる物理量を検出する検出部と、前記検査用信号の供給に伴う放電の発生の有無を前記検出部による検出結果に基づいて判定する判定部とを備えた検査装置であって、
前記検出部を複数備え、
前記各検出部は、前記物理量に対する検出周波数帯域が当該各検出部毎に互いに異なるようにそれぞれ構成され、
前記判定部は、前記各検出部によって検出された前記物理量の少なくとも1つが予め決められた条件を満たすときに前記放電が発生したと判定する検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G014AA15
, 2G014AA25
, 2G014AB59
, 2G014AC09
