特許
J-GLOBAL ID：201203040313702548

ポリイミドおよびこれを含む感光性樹脂組成物

発明者：
キム、サン ウー

キム、サン ウー について

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パク、チャン ヒョ

パク、チャン ヒョ について

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キム、キュン ジュン

キム、キュン ジュン について

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セオン、ヘ ラン

セオン、ヘ ラン について

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シン、セ ジン

シン、セ ジン について

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ジョン、ヘ ウォン

ジョン、ヘ ウォン について

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ジョ、ジュン ホー

ジョ、ジュン ホー について


出願人/特許権者：
エルジー ケム. エルティーディ.

エルジー ケム. エルティーディ. について


代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-547830
公開番号（公開出願番号）：特表2012-516375
出願日： 2010年07月16日
公開日（公表日）： 2012年07月19日
要約：
【課題】本発明は、半導体のバッファコーティング(Buffer coating)に適用されるものであり、ポリイミドおよびこれを含む感光性樹脂組成物に関する。【解決手段】上記ポリイミドは、下記一般式(1)で表されるポリイミド重合体である。なお、本発明は、1) BDA系の70%以上のi-線透過度を有する可溶性ポリイミドと、2) 伸び率が40%以上のポリアミド酸と、3) ノボラック樹脂と、4) ジアゾナフトキノン系感光性物質とを含み、半導体のバッファコーティングの要求特性の高解像度、高感度、優れたフィルム特性および機械的物性を有する感光性樹脂組成物を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
70%以上のi-線透過度を示し、重量平均分子量が1,000〜100,000であり、ガラス転移温度が200〜400°Cの下記一般式(1)で表されるポリイミド。
IPC (5件)：
C08G 73/10 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312
FI (7件)：
C08G73/10 ,  G03F7/023 ,  G03F7/023 511 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/312 B ,  H01L21/312 D
Fターム (40件)：
2H125AF05P ,  2H125AM10P ,  2H125AM72P ,  2H125AM73P ,  2H125AM80P ,  2H125AN54P ,  2H125CA12 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC21 ,  2H125CD08P ,  2H125CD14P ,  2H125CD22P ,  2H125CD38 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PC145 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB302 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB22 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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