特許
J-GLOBAL ID：200903014876805754

ポジ型感光性樹脂組成物及びその硬化物

発明者：
宮本 真奈

宮本 真奈 について


出願人/特許権者：
京セラケミカル株式会社

京セラケミカル株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-410684
公開番号（公開出願番号）：特開2005-173027
出願日： 2003年12月09日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】高解像度、高感度で、かつ、優れたパターン寸法制御性を有し、さらには、高耐熱性、低吸湿性である感光性樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】本発明は、(A)次の一般式(I)で表されるポリヒドロキシイミド【化16】(但し、式中R1は2価の芳香族基、R2は4価の芳香族基、R3はケイ素を有する2価の有機基であり、a及びbは正の整数、nは5〜40の整数である。)と、(B)次の一般式(III)で表される少なくとも一つのメチロール基を有するフェノール樹脂【化17】(但し、式中R8は水素原子又はアルキル基、Zはそれぞれメチレン基又はジメチレンエーテル基であり、kは0〜50の整数であり、m1、m2及びm3はそれぞれ0〜2の整数である。)と、(C)感光性ジアゾキノン化合物と、(D)溶剤とを含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)次の一般式(I)で表されるポリヒドロキシイミド
IPC (5件)：
G03F7/037 ,  C08G73/10 ,  G03F7/023 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/037 501 ,  C08G73/10 ,  G03F7/023 511 ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R
Fターム (50件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB28 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  4J043PA04 ,  4J043PC066 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA34 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SB03 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA052 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043XA14 ,  4J043XA16 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZB50
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM