特許

J-GLOBAL ID：200903074063654522

ネガ型感光性樹脂組成物及びその硬化物

発明者： 宮本 真奈
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-061131
公開番号（公開出願番号）：特開2005-250161
出願日： 2004年03月04日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】高解像度、高感度で、かつ、優れたパターン寸法制御性を有し、さらには、高耐熱性、低吸湿性である感光性樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶なフェノール樹脂と、(B)ポリアミド樹脂と、(C)光酸発生剤と、(D)多官能メチロール化合物と、(E)溶剤とを含有し、高温硬化、低温硬化の両方に対応可能であり、得られる塗膜の耐薬品性、基板との密着性が良好であるネガ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶なフェノール樹脂と、 (B)次の一般式(I)、(II)、(III)又は(IV)で表されるポリアミド樹脂

IPC (5件)：

G03F7/038 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/038 601 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/037 ,  H01L21/30 502R

Fターム (105件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB23 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB43 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PB14 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB24 ,  4J043QB25 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB33 ,  4J043QB34 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA51 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA32 ,  4J043TA33 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UA221 ,  4J043UA251 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA632 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB221 ,  4J043UB231 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB321 ,  4J043UB351 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA071 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043VA092 ,  4J043WA09 ,  4J043WA16 ,  4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (6件)

• ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-030672   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-209235   出願人：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型ホトレジスト組成物、感光性膜付基板、レジストパターンの形成方法およびポジ型ホトレジスト組成物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-132406   出願人：東京応化工業株式会社
• ポジ型ホトレジスト組成物、感光性膜付基板およびレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-132408   出願人：東京応化工業株式会社
• 厚膜用化学増幅型ネガ型ホトレジスト組成物、ホトレジスト基材およびこれを用いたバンプ形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-110283   出願人：東京応化工業株式会社
• 厚膜用ネガ型ホトレジスト組成物、ホトレジスト膜およびこれを用いたバンプ形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-110282   出願人：東京応化工業株式会社