特許

J-GLOBAL ID：201203041056620280

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者： 一色 鉄也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-025460
公開番号（公開出願番号）：特開2012-164894
出願日： 2011年02月08日
公開日（公表日）： 2012年08月30日
要約：

【課題】リーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。【解決手段】ノズル開口21に連通する圧力発生室12と、第1電極60、前記第1電極上に設けられた圧電体層70および前記圧電体層上に設けられた第2電極80を備えた圧電素子300と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムを含む混晶として表される複合酸化物からなり、前記圧電体層は、第1の圧電体層と、前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方と前記第1の圧電体層との間に設けられ前記第1の圧電体層よりも前記チタン酸バリウムの含有量が10モル%以上多い第2の圧電体層と、を有する液体噴射ヘッドIとする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室と、 第1電極、前記第1電極上に設けられた圧電体層および前記圧電体層上に設けられた第2電極を備えた圧電素子と、を具備し、 前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムを含む混晶として表される複合酸化物からなり、 前記圧電体層は、第1の圧電体層と、前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方と前記第1の圧電体層との間に設けられ前記第1の圧電体層よりも前記チタン酸バリウムの含有量が10モル%以上多い第2の圧電体層と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z

Fターム (3件)：

2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電材料および圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-095054   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-201581   出願人：松下電器産業株式会社
• 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-208843   出願人：セイコーエプソン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Dielectric and Piezoelectric Properties in Mn-Modified (1-x)BiFeO3-xBaTiO3 Ceramics