特許
J-GLOBAL ID：200903055958401137
圧電体薄膜素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-201581
公開番号（公開出願番号）：特開2008-028285
出願日： 2006年07月25日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】長期間に渡って電圧を印加して駆動させても、絶縁性を低下させず高い信頼性を有する圧電体薄膜素子、それを用いたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドを印字手段として備えたインクジェット式記録装置を得ること。【解決手段】圧電体層14は、第1,第2,第3の3つの圧電体層14a,14b,14cで構成され、第1及び第3の圧電体層14a,14cの各圧電定数は、いずれも第2の圧電体層14bよりも小さくなっている。これによって、第1、第3の圧電体層14a,14cと対応する電極層13,15との界面に発生する内部応力を低減でき、高電圧印加や長期間駆動によるクラック発生の大幅な低減効果が期待できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ペロブスカイト型結晶構造を有するPbを含む酸化物で成膜した圧電体層と、前記圧電体層の厚み方向両側の層面それぞれに成膜した電極層とを備えている圧電体薄膜素子において、
前記圧電体層は、一方の電極層から他方の電極層に向かって第1,第2,第3の3つの圧電体層で構成され、電極層側の前記第1及び第3の圧電体層の各圧電定数が、いずれも前記第2の圧電体層よりも小さくなるように、各圧電体層に適用する前記酸化物の組成を選択して成膜されていることを特徴とする圧電体薄膜素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L41/08 C
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, H02N2/00 B
2C057AF65
, 2C057AF66
, 2C057AG43
, 2C057AG47
, 2C057BA14
