特許
J-GLOBAL ID：200903018954183531
圧電材料および圧電素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-095054
公開番号（公開出願番号）：特開2009-252790
出願日： 2008年04月01日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】Bi(Fe,Mn)O3およびBa(Zr,Ti)O3等をベースにした圧電材料の特性を向上させる、特性の良好な非鉛系圧電材料を提供する。【解決手段】圧電素子は、酸化シリコン膜2、窒化チタンアルミ膜3、イリジウム膜4、酸化イリジウム膜5、下部電極6、圧電体膜9、上部電極11とを有し、圧電体膜9を構成する圧電材料が、Bi(Fe,Mn)O3とBa(Zr,Ti)O3の混晶からなる圧電材料であって、組成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3で表され、0<x<0.40、0.01<y<0.10および0≦u<0.16である。かかる構成によれば、Bi(Fe1-yMny)O3の自発分極量や高いキュリー温度を維持しつつ、Ba(ZruTi1-u)O3により圧電特性の向上を図ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極と、前記第1電極上に配置された圧電体膜と、前記圧電体膜上に配置された第2電極と、を有し、
前記圧電体膜を構成する圧電材料が、
25°Cにおける自発分極量が0.5C/m2以上である材料Aを100(1-x)%、圧電特性を有しかつ25°Cの比誘電率が1000以上である材料Bを100x%で混合した圧電材料であって、前記材料Aのキュリー温度をTc(A)、前記材料Bのキュリー温度をTc(B)とするとき、(1-x)Tc(A)+xTc(B)≧300°Cであり、非鉛系であることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, H01L 41/24
H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 L
, H01L41/22 A
, H01L41/22 B
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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