共焦点計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-130230
公開番号（公開出願番号）：特開2012-208102
出願日： 2011年06月10日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置100は、白色LED21と、白色LED21から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ1と、回折レンズ1より計測対象物200側に配置され、回折レンズ1で色収差を生じさせた光を計測対象物200に集光する対物レンズ2と、対物レンズ2で集光した光のうち、計測対象物200において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ1の焦点距離は、回折レンズ1から対物レンズ2までの距離と、対物レンズ2の焦点距離との差より大きい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、複数の波長の光を出射する光源と、前記光源から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズと、前記回折レンズより前記計測対象物側に配置され、前記回折レンズで色収差を生じさせた光を前記計測対象物に集光する対物レンズと、前記対物レンズで集光した光のうち、前記計測対象物において合焦する光を通過させるピンホールと、前記ピンホールを通過した光の強度を波長ごとに測定する測定部とを備え、前記回折レンズの焦点距離は、前記回折レンズから前記対物レンズまでの距離と、前記対物レンズの焦点距離との差より大きい、共焦点計測装置。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01C3/06 120P , G01B11/00 B

Fターム (32件)：

2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA24 , 2F065FF10 , 2F065GG07 , 2F065GG08 , 2F065GG24 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL05 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065LL42 , 2F065LL43 , 2F065LL67 , 2F065NN02 , 2F065NN12 , 2F065NN13 , 2F065QQ17 , 2F065QQ29 , 2F112AB05 , 2F112CA13 , 2F112DA04 , 2F112DA05 , 2F112DA11 , 2F112DA21 , 2F112DA26 , 2F112DA30

引用特許：

審査官引用 (6件)

共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-021429 出願人：オリンパス光学工業株式会社
多層光ディスク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-053368 出願人：イエダリサーチアンドデベロツプメントカンパニーリミテツド
特開昭60-073405

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