特許
J-GLOBAL ID：201203042597185966

電子検出装置および電子検出方法

発明者：
山田 恵三

山田 恵三 について


出願人/特許権者：
株式会社ホロン

株式会社ホロン について


代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-116753
公開番号（公開出願番号）：特開2012-248304
出願日： 2011年05月25日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：
【目的】本発明は、電子検出装置および電子検出方法に関し、サンプルからの電子をほぼ完全に検出すると共に、チャネルによる増倍飽和による影響を低減して大きな入力電流まで比例した出力電流の検出することを目的とする。【構成】電子を衝突させて2次電子を放出して増倍する第1の電子増倍手段と、第1の電子増倍手段に電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第1の電圧印加手段と、第1の電子増倍手段より増倍されて放出された2次電子を衝突させて2次電子を放出して増倍する第2の電子増倍手段と、第2の電子増倍手段に第1の電子増倍手段から放出された電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第2の電圧印加手段と、第2の電子増倍手段により増倍されて放出された2次電子を衝突させて電流を検出するアノードと、アノードに第2の電子増倍手段から放出された電子を加速して衝突させる電圧を印加する第3の電圧印加手段とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サンプルからの電子を増倍して検出する電子検出装置において、 前記サンプルからの電子を衝突させて2次電子を放出して増倍する第1の電子増倍手段と、 前記第1の電子増倍手段に、前記サンプルからの電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第1の電圧印加手段と、 前記第1の電子増倍手段より増倍されて放出された2次電子を衝突させて2次電子を放出して増倍する第2の電子増倍手段と、 前記第2の電子増倍手段に、前記第1の電子増倍手段から放出された電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第2の電圧印加手段と、 前記第2の電子増倍手段により増倍されて放出された2次電子を衝突させて電流を検出するアノードと、 前記アノードに、前記第2の電子増倍手段から放出された電子を加速して衝突させる電圧を印加する第3の電圧印加手段と を備えたことを特徴とする電子検出装置。
IPC (4件)：
H01J 43/18 ,  H01J 37/244 ,  H01J 43/20 ,  H01J 43/24
FI (4件)：
H01J43/18 ,  H01J37/244 ,  H01J43/20 ,  H01J43/24
Fターム (2件)：
5C033NN01 ,  5C038BB06
引用特許：
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM