特許
J-GLOBAL ID：201203044374483402
検出センサ、物質検出システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
大場 充
, 堀川 美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-089602
公開番号（公開出願番号）：特開2012-220454
出願日： 2011年04月13日
公開日（公表日）： 2012年11月12日
要約：
【課題】物質を検出する検出効率の高い検出センサ、物質検出システムを提供することを目的とする。【解決手段】感応膜42に成分分子を吸着させる際には感応膜42を冷却し、感応膜42から成分分子を脱離させる際には感応膜42を加熱する。成分分子が振動子41の感応膜42に吸着されると振動子41の振動周波数が変化し、制御部54では、そのセンサ信号の変化分を常時計測する。この変化分が予め定めた閾値を下回ると、検出が飽和状態に達したと判断し、振動子41に組み込んだヒータ90に、予め設定されたヒータ電圧を印加し、感応膜42に吸着した成分分子を脱離させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
一端部または両端部が基板に固定された梁状で、感応膜に質量を有した物質が付着または吸着することにより振動特性が変化する振動子と、
前記感応膜を冷却する冷却部と、
前記振動子の振動を検出する歪みセンサと、
前記感応膜を加熱する加熱部と、
前記振動子を振動させる圧電素子と、
前記圧電素子に電圧を印加する素子パッケージと、
前記冷却部と加熱部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記感応膜に前記ガスに含まれる成分分子を吸着させる際に前記冷却部により前記感応膜を冷却し、前記感応膜に吸着した前記成分分子を当該感応膜から脱離させる際に前記加熱部により前記感応膜を加熱するように制御することを特徴とする検出センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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