特許
J-GLOBAL ID：201203044706385167

選択可能な複数の粒子放出器を備える荷電粒子源

発明者：
エヌ・ウィリアム・パーカー

エヌ・ウィリアム・パーカー について


出願人/特許権者：
エフ・イ-・アイ・カンパニー

エフ・イ-・アイ・カンパニー について


代理人 (1件)： 雨貝 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-270754
公開番号（公開出願番号）：特開2012-142269
出願日： 2011年12月11日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：
【課題】透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオン・ビーム(FIB)システムなどの集束粒子ビーム・システム用の荷電粒子源を提供すること。【解決手段】この源は、荷電粒子システムの軸を中心とすることができる小さな領域内にある独立してアドレス指定可能な多数の放出器を使用する。1つのチップから放出させ、または2つ以上のチップから同時に放出させることを可能にするため、これらの放出器は全て、個別に制御することができる。1つの放出器だけが活動化されるモードは高輝度に対応し、複数の放出器が同時に活動化されるモードは、高い角強度およびより低い輝度を提供する。単一の放出器を逐次的に使用することによって源の寿命を延ばすことができる。全ての放出器に対する機械/電気組合せアラインメント手順が記載される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ターゲットの表面に荷電粒子ビームを集束させるカラムと、 前記カラムの軸に概して平行に荷電粒子を放出するようにそれぞれが構成された多数の荷電粒子放出器を備える荷電粒子源と、 前記多数の荷電粒子放出器のそれぞれの放出器に対する1つの接続、または前記多数の荷電粒子放出器のうちの全てではない一群の放出器に対する1つの接続を有するように構成された多数の電気接続と、 前記多数の荷電粒子放出器を制御する放出器制御回路と を備える荷電粒子システム。
IPC (7件)：
H01J 37/06 ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/063 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/317 ,  H01J 37/02 ,  H01J 27/22
FI (7件)：
H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/317 D ,  H01J37/02 ,  H01J27/22
Fターム (10件)：
5C030BC06 ,  5C030CC03 ,  5C030CC04 ,  5C030CC07 ,  5C030DF02 ,  5C030DF04 ,  5C030DF08 ,  5C034DD01 ,  5C034DD03 ,  5C034DD06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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