特許
J-GLOBAL ID:201203045716889623
圧電素子の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 佐藤 博幸
, 小池 成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-253013
公開番号(公開出願番号):特開2012-104715
出願日: 2010年11月11日
公開日(公表日): 2012年05月31日
要約:
【課題】薄く反りがなくフラットな焼成圧電体を備える、圧電素子を得る手段を提供する。【解決手段】接合部41,42によって、枠体(補強部付焼成圧電体23のうちの、のちに圧電素子とならない部分)と接合している圧電素子前駆体100B(焼成圧電体)は、分極処理中に、分極方向に対し垂直な方向において、接合部41,42の2箇所で、拘束される。圧電素子前駆体100Bは、のちに圧電素子となる部分であって、補強部付焼成圧電体23から補強部等を除去した焼成圧電体と、電極33と、からなるものであり、分極処理して、個片として取り出せば、圧電素子となる。【選択図】図4
請求項(抜粋):
薄板状の焼成圧電体と、その焼成圧電体の両面に形成された膜状の電極と、を備える圧電素子を製造する方法であって、
分極方向に対し垂直な方向において、少なくとも2箇所で、前記焼成圧電体を拘束し、その焼成圧電体を分極する過程を有する、圧電素子の製造方法。
IPC (5件):
H01L 41/22
, H01L 41/24
, H01L 41/09
, H01L 41/08
, H01L 41/187
FI (9件):
H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 B
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
引用特許:
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