圧電体薄膜装置および圧電体薄膜装置の駆動方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-348081
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203750
出願日： 2004年12月01日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】従来の圧電体素子は、変位量を保持するのに電圧を常に印加する必要があり、長期間安定して電圧制御しなければ位置を保持することができなかった。【解決手段】第1電極1、第2電極2および第1電極1と第2電極2との間に挟まれ、膜厚方向に分極ベクトルを持ち、第1電極1と第2電極2とを介して所定値以上の電圧が加えられると分極ベクトルが反転させられる圧電体薄膜3からなる圧電体薄膜素子10と、分極ベクトルを反転させる電圧を供給する電源回路4とを備え、圧電体薄膜3は分極ベクトルの方向により異なる格子定数を有し、電圧が印加されなくなった状態でも分極ベクトル方向に対応した異なった変位位置を保持する圧電体薄膜装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1電極、第2電極および前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれ、膜厚方向に分極ベクトルを持ち、前記第1電極と前記第2電極とを介して所定値以上の電圧が加えられると前記分極ベクトルが反転させられる圧電体薄膜からなる圧電体薄膜素子と、前記分極ベクトルを反転させる電圧を供給する電源回路とを備え、前記圧電体薄膜は、前記分極ベクトルの方向により異なる格子定数を有し、前記圧電体薄膜素子は前記電圧が印加されなくなった状態でも前記分極ベクトルの方向に対応した異なった変位位置を保持することを特徴とする圧電体薄膜装置。

IPC (5件)：

H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H02N2/00

FI (7件)：

H01L41/08 C , H02N2/00 B , H01L41/08 M , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/08 K , H01L41/22 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-256375号公報

審査官引用 (5件)

特開平2-162782
特開平2-162782
圧電アクチュエータの制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-014849 出願人：トヨタ自動車株式会社

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