特許
J-GLOBAL ID:201203049507543634
有軌道台車システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-142191
公開番号(公開出願番号):特開2012-009520
出願日: 2010年06月23日
公開日(公表日): 2012年01月12日
要約:
【課題】有軌道台車システムにおいて、ダウンフローを吹き出すクリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止する【解決手段】有軌道台車システム1は、清浄な空気のダウンフローDFが天井の吹き出し口7から吹き出すクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム1は、軌道2と、搬送台車4と、底カバー5と、側方カバー6と、排出口8と、を備えている。軌道2は、クリーンルーム内で天井13から吊り下げられている。搬送台車4は、軌道2に沿って走行して物品Sを搬送可能である。底カバー5は、軌道2の底部を覆う。側方カバー6は、軌道2および搬送台車4の側方を覆う。排出口8は、底カバー5および側方カバー6の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口7から導入したダウンフローDFを排出する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置される有軌道台車システムであって、
前記クリーンルーム内で天井から吊り下げられた軌道と、
前記軌道に沿って走行して物品を搬送可能な搬送台車と、
前記軌道の底部を覆う底カバーと、
前記軌道および搬送台車の側方を覆う側方カバーと、
前記底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、前記吹き出し口から導入した前記ダウンフローを排出する排出口と、
を備えた有軌道台車システム。
IPC (3件):
H01L 21/677
, B61D 27/00
, B65G 1/00
FI (4件):
H01L21/68 A
, B61D27/00 S
, B65G1/00 501C
, B65G1/00 521D
Fターム (11件):
3F022AA08
, 3F022BB09
, 3F022LL12
, 5F031CA05
, 5F031DA01
, 5F031FA03
, 5F031FA09
, 5F031FA12
, 5F031GA58
, 5F031NA02
, 5F031NA18
引用特許: