特許
J-GLOBAL ID：201203049580668429
表面分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-207807
公開番号（公開出願番号）：特開2012-063255
出願日： 2010年09月16日
公開日（公表日）： 2012年03月29日
要約：
【課題】試料上の関心領域における高さと位相等、複数の物理量の定量的な比較を簡便な操作で行えるようにする。【解決手段】分析結果表示画面30内に、試料表面高さの2次元分布データに基づく3次元画像に位相に対応した色情報をマッピングして重ねたカラー3次元画像32を表示し、該画像32上にユーザ操作により任意の移動可能な2つのポインタP、Qに基づいて形成される仮想平面像33を重ねて表示する。仮想平面像33と試料とが交差した一次元領域を関心領域とし、この関心領域に沿った高さと位相とをグラフ化してグラフ表示領域37に表示し、さらにそのグラフ上に表示したカーソルA〜Fで特定される位置における高さ及び位相の値や2本のカーソル間の差分値などを特性値テーブル38中に表記する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
試料上の同一領域から複数種の物理量の2次元分布データを収集し、該データに基づいて表示画面を作成して表示手段に表示する表面分析装置であって、
a)前記複数種の物理量の2次元分布データのうちの任意の第1の物理量の2次元分布データに基づいて前記領域についての3次元画像を作成するとともに、該3次元画像に別の種類である第2の物理量の2次元分布データに基づいて作成した色分布を重ね合わせたカラー3次元画像を作成して表示画面の第1の表示領域に表示する第1表示処理手段と、
b)ユーザによる操作手段の操作に応じて、前記表示画面上に表示されている前記カラー3次元画像上の任意の位置に試料表面と交差する仮想面像を形成して該カラー3次元画像に重畳して表示する仮想面像形成手段と、
c)前記仮想面像と試料表面とが交差する一次元領域を関心領域とし、第1及び第2の物理量の2次元分布データを用いて前記関心領域の延伸方向に沿った第1及び第2の物理量の値の分布又は変化をグラフ化して、前記表示画面の第1の表示領域とは異なる第2の表示領域に表示する第2表示処理手段と、
を備えることを特徴とする表面分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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