特許
J-GLOBAL ID：200903016982053829
走査電子顕微鏡及びそれを用いた試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-000598
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214060
出願日： 2003年01月06日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】試料の立体形状を広範囲に把握することができるようにする。【解決手段】焦点深度拡大機能を用いて得られた、視野角が異なり、かつ画像全体で焦点の合っている複数枚の画像から、画像全領域の高さ(深さ方向距離)を算出することで、画素単位で高さ情報のマップ(Zマップ)を作り、立体像を鳥瞰図として表示する。また、表面構造を反映する画像信号から得られるZマップに組成情報を反映する画像信号から得られたZマップを別な色で重ねて表示することで、特異的な組成の物質の試料内での空間分布を明瞭に把握することを可能にする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
試料に第1の入射角度で電子線を照射し、試料から放出された二次信号を検出して試料の走査電子顕微鏡像を取得するステップと、
焦点位置を変えて前記ステップを反復し、前記第1の入射角度における複数の走査電子顕微鏡像を取得するステップと、
試料に第1の入射角度とは異なる第2の入射角度で電子線を照射し、試料から放出された二次信号を検出して試料の走査電子顕微鏡像を取得するステップと、
焦点位置を変えて前記ステップを反復し、前記第2の入射角度における複数の走査電子顕微鏡像を取得するステップと、
前記第1の入射角度で取得した複数の走査電子顕微鏡像からそれぞれ最も焦点の合った画像領域を抽出し、画像全体に焦点の合った第1の全焦点画像を生成するステップと、
前記第2の入射角度で取得した複数の走査電子顕微鏡像からそれぞれ最も焦点の合った画像領域を抽出し、画像全体に焦点の合った第2の全焦点画像を生成するステップと、
前記第1の全焦点画像と第2の全焦点画像からステレオ像を観察するステップとを含むことを特徴とする走査電子顕微鏡を用いた試料観察方法。
IPC (5件)：
H01J37/22
, G01B15/04
, H01J37/21
, H01J37/244
, H01J37/28
H01J37/22 502A
, H01J37/22 502H
, G01B15/04
, H01J37/21 B
, H01J37/244
, H01J37/28 B
2F067AA23
, 2F067AA53
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067KK08
, 2F067LL00
, 2F067LL16
, 2F067RR35
, 2F067RR44
, 5C033NN01
, 5C033NN02
, 5C033NP06
, 5C033UU01
, 5C033UU04
審査官引用 (12件)
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荷電粒子線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-201443
出願人：株式会社日立製作所
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特開平1-161648
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電子線装置および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-106405
出願人：株式会社日立製作所
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