特許
J-GLOBAL ID：201003098709146021
分析装置用画像表示装置及び該装置を用いた表面分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-221182
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054420
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】SPMで得られた所定範囲の高さの2次元分布画像において、他の物理量の2次元分布に基づいて抽出される関心領域に対応する凹凸形状などを容易に且つ的確に理解できるようにする。【解決手段】関心領域を抽出する対象画像(2次元又は3次元)に対し、その画像を構成するデータ値を閾値判定することにより関心領域を抽出する(S5)。抽出された関心領域に対応する位置情報を取得し(S6)、観察画像(高さの2次元分布画像)上でその位置情報に対応する範囲の表示をそのまま維持し、範囲外の表示の輝度を落とすことにより、関心領域の範囲を強調表示する(S7)。これにより、2つの画像を重ね合わせる場合とは異なり、元の観察画像の色情報がそのまま維持されるため、凹凸形状などが最適な色付けで表示される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
試料の同一領域から収集された複数種の物理量の2次元分布データに基づいて、前記領域についての2次元画像又は3次元画像を表示する分析装置用画像表示装置において、
a)前記複数種の物理量の2次元分布データのうち第1の物理量の2次元分布データを除く1種以上の物理量の2次元分布データを用い、所定の条件に適合する又は外部より指示された領域を関心領域として抽出する関心領域抽出手段と、
b)前記第1の物理量の2次元分布データを2次元画像又は3次元画像として表示する画像上で、前記抽出された関心領域に相当する範囲をそれ以外の範囲と識別可能であるように強調表示する表示制御手段と、
とを備えることを特徴とする分析装置用画像表示装置。
IPC (3件)：
G01Q 30/04
, G01N 23/223
, G01N 23/225
G01N13/10 121B
, G01N23/223
, G01N23/225
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001GA01
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001KA01
, 2G001KA13
, 2G001QA01
出願人引用 (2件)
審査官引用 (12件)
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