特許
J-GLOBAL ID：201203053047422733

基板処理管理装置

発明者：
小谷 浩

小谷 浩 について

, 
浦辺 俊光

浦辺 俊光 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141174
公開番号（公開出願番号）：特開2012-212919
出願日： 2012年06月22日
公開日（公表日）： 2012年11月01日
要約：
【課題】基板の処理品質管理作業の負担を低減し、基板品質を継続して安定化させる。【解決手段】基板処理装置及び測定器と通信回線を介して接続した自動品質管理装置によりレシピデータに基づいて基板処理を実行させ、測定器から得られた処理結果としての膜厚データに基づいて基板処理装置で処理される基板の品質を管理する。管理装置は、測定器から測定データを通信手段22で受信し、当該基板の処理を行ったレシピデータに対応付けてファイル42に蓄積する。複数の測定データからレシピデータと基板の膜厚との関係を回帰式決定手段31で算出し、入力手段51から入力した品質管理ルール及び目標値に基づき、統計解析手段32が受信した測定データが当該ルールから外れる場合には、当該目標値を用いて回帰式を逆算し、当該目標値を満たすレシピデータを算出し、このレシピデータを通信手段21からダウンロードして基板処理装置に処理を実行させる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
レシピに規定されたレシピデータに基づいて処理室に処理を実行させるコントローラを備えた基板処理装置において、 前記コントローラは、 前記処理室で処理された基板から測定された処理結果データを受信する受信手段と、 前記受信手段によって受信した処理結果データを当該基板の処理を行ったレシピデータに対応付けて蓄積する記憶手段と、 処理結果データの上限値と下限値及び目標値を受け付ける手段と、 前記記憶手段に蓄積された複数の処理結果データからレシピデータと処理結果データとの関係を決定する手段と、 前記受信手段により受信した処理結果データが前記上限値と前記下限値との間から外れる場合に、前記関係に基づいて前記目標値を満足するようレシピデータを補正する手段と、 前記補正されたレシピデータに基づいて前記処理室に次回の処理を実行させる制御手段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/31
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/31 E
Fターム (11件)：
5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045BB08 ,  5F045DQ17 ,  5F045EB02 ,  5F045EB08 ,  5F045GB11 ,  5F045GB13 ,  5F045GB15 ,  5F045GB16 ,  5F045HA25
引用特許：
審査官引用 (6件)
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