特許

J-GLOBAL ID：201203053054249109

透明導電膜及び透明導電膜付き基板

発明者： 山本 哲也 ,  山本 直樹 ,  牧野 久雄 ,  氏原 彰 ,  伊東 孝洋
出願人/特許権者： ジオマテック株式会社
代理人 (2件)： 秋山 敦 ,  城田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-265776
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117093
出願日： 2010年11月29日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】実用上十分な導電性、透過率、を有し、低屈折率であり、且つ低温で成膜可能な結晶構造のZnO系透明導電膜、及び該ZnO系透明導電膜をフィルム上に成膜した透明導電膜付き基板を提供する。【解決手段】アルミニウム又はガリウムの少なくとも一方が1から10wt%の範囲で含まれた酸化亜鉛からなり、透明基板上に形成された透明導電膜であって、透明導電膜は、可視光域における透過率が85%以上であり、波長550nmにおける屈折率が1.75〜1.80の範囲にあり、比抵抗が8.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

アルミニウム又はガリウムの少なくとも一方が1〜10wt%の範囲で含まれた酸化亜鉛からなり、透明基板上に形成された透明導電膜であって、 該透明導電膜は、 可視光域における透過率が85%以上であり、 波長550nmにおける屈折率が1.75〜1.80の範囲にあり、 比抵抗が8.0×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (3件)：

C23C 14/08 ,  H01B 5/14 ,  C23C 14/34

FI (3件)：

C23C14/08 C ,  H01B5/14 A ,  C23C14/34 K

Fターム (16件)：

4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BA49 ,  4K029BB07 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC33 ,  4K029DC39 ,  4K029EA08 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 透明導電膜とその製造方法およびスパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-208158   出願人：旭硝子株式会社
• 反射防止膜の成膜方法及び反射防止膜並びに成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-209208   出願人：株式会社アルバック
• 酸化物透明導電膜、およびそれを用いた光電変換素子、光検出素子
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2008059416   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所