特許
J-GLOBAL ID：201203054429420966

アルカリ剥離液の再生装置および方法

発明者：
高城 総夫

高城 総夫 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-222068
公開番号（公開出願番号）：特開2012-079830
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：
【課題】アミン系剥離液使用により蓄積するレジスト樹脂、炭酸アンモニウム塩、溶解金属を連続的に除去し、剥離液の再生装置、方法を提供する。【解決手段】剥離装置1内で循環する使用済み剥離液2を配管経路3を通じて電解槽4の陽極ドラム5およびカチオン交換膜6間に導入する。一方で電解槽4には陽極ドラム5に対向する陰極7が、カチオン交換膜6を介して設置されており、陰極7は再生済みの剥離液8によって満たされている。陽極と陰極間の電気伝導は陽イオンの移動による電気伝導が可能となっているので電気的には隔離されていない。陽極ドラム5及び陰極には、電気給手段として電源9が接続されている。陰極及び陽極間に直流電流を通電することで、使用済み剥離液に含まれるレジスト樹脂を陽極ドラム5の表面上に電着でき、剥離液中からレジスト樹脂を除去できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レジスト樹脂、炭酸塩、金属イオンの何れかを含む使用済みの有機アミン含有のアルカリ剥離液を再生する装置であって、アルカリ剥離液中に浸漬される陰極、陽極の両電極及び両電極に電気的に接続される直流電源からなり、両電極間に直流電流を流すことによって、アルカリ剥離液中のレジスト樹脂を陽極に電着捕捉することによって除去し、且つ陽極にて水の電解により発生する酸により炭酸塩を中和し、炭酸を気化することによって除去し、金属イオンを陰極にて電析回収することによって、使用済みのアルカリ剥離液を再生することを特徴とするアルカリ剥離液の再生装置。
IPC (8件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/304 ,  G03F 7/42 ,  C25C 7/06 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/469 ,  B01D 61/44
FI (8件)：
H01L21/30 572B ,  H01L21/304 647Z ,  G03F7/42 ,  C25C7/06 301A ,  C02F1/42 D ,  C02F1/44 F ,  C02F1/46 103 ,  B01D61/44 500
Fターム (78件)：
2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096LA03 ,  2H096LA25 ,  4D006GA06 ,  4D006HA01 ,  4D006HA18 ,  4D006HA19 ,  4D006HA21 ,  4D006HA41 ,  4D006HA61 ,  4D006KA01 ,  4D006KA72 ,  4D006KB01 ,  4D006KB11 ,  4D006KC03 ,  4D006KC16 ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MC18 ,  4D006MC29 ,  4D006MC39 ,  4D006MC62 ,  4D006PA01 ,  4D006PB08 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4D025AA09 ,  4D025AB36 ,  4D025BA14 ,  4D025BB07 ,  4D025DA01 ,  4D025DA06 ,  4D061DA08 ,  4D061DB18 ,  4D061DC11 ,  4D061DC13 ,  4D061DC23 ,  4D061EA02 ,  4D061EA05 ,  4D061EB01 ,  4D061EB04 ,  4D061EB07 ,  4D061EB13 ,  4D061EB19 ,  4D061EB28 ,  4D061EB30 ,  4D061EB31 ,  4D061EB33 ,  4K058AA10 ,  4K058AA21 ,  4K058BA01 ,  4K058BB02 ,  4K058BB03 ,  4K058BB04 ,  4K058CA07 ,  4K058CA09 ,  4K058CA10 ,  4K058CA22 ,  4K058DD22 ,  4K058DD23 ,  4K058ED01 ,  4K058FA05 ,  4K058FC21 ,  5F046MA02 ,  5F046MA19 ,  5F146MA02 ,  5F146MA19 ,  5F157AA42 ,  5F157AA46 ,  5F157AA51 ,  5F157AA91 ,  5F157BF38 ,  5F157CC02 ,  5F157CF46 ,  5F157CF74 ,  5F157DC85
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM