特許
J-GLOBAL ID：201203055129446080

表面性状測定装置および表面性状総合評価方法

発明者：
柴田 和久

柴田 和久 について


出願人/特許権者：
アークハリマ株式会社

アークハリマ株式会社 について


代理人 (1件)： 進藤 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-081427
公開番号（公開出願番号）：特開2012-215486
出願日： 2011年04月01日
公開日（公表日）： 2012年11月08日
要約：
【課題】鏡面に近い面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価できるようにする。【解決手段】コンピュータ制御にてディスプレイ11に表示したチェックパターンを被測定面21に投影して、反射像を撮影装置12により撮影し、その画像データを収得してコンピュータ3でデータ処理するよう構成した鏡面計1を使用し、コンピュータ3に、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラストおよび白濁度といった複数の測定項目の算出ロジックを含むコンピュータソフト5を組み込んで、それら複数の測定項目を順次自動的に測定し、鏡面度を含む複数の測定項目を指標として表面性状を評価できるようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
コンピュータ制御によりディスプレイにチェックパターンを表示して測定対象物表面に投影する投影光学系と、投影されて測定対象物表面で反射したチェックパターンの虚像を撮像素子で撮影する撮像光学系とからなり、前記撮像素子で撮影したチェックパターンの画像データをコンピュータに収得してデータ処理することにより測定対象物表面の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、 鏡面度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差を算出し、該標準偏差を所定の鏡面度評価基準値と比較して、該鏡面度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の鏡面度として算出する鏡面度算出手段と、 測定対象物表面を複数区画に区分けして、区画ごとに前記鏡面度を算出し、区画ごとの鏡面度の標準偏差を、測定対象物表面の鏡面度バラツキとして算出する鏡面度バラツキ算出手段と、 光沢度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差と輝度値データの平均値を算出し、該標準偏差と平均値を足した値を、測定対象物表面の光沢度として算出する光沢度算出手段と、 シャープネス測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、フィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形のゲインの平均値を、測定対象物表面のシャープネスとして算出するシャープネス算出手段と、 うねり及び形状誤差測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、フィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形の変曲点位置の標準偏差を、測定対象物表面のうねり又は形状誤差として算出するうねり及び形状誤差算出手段と、 コントラスト測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの輝度値データの最大値(Imax)と最小値(Imin)をもとめ、(Imax-Imin)/(Imax+Imin)の値を、測定対象物表面のコントラストとして算出するコントラスト算出手段と、 白濁度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの平均値を算出し、該平均値を所定の白濁度評価基準値と比較して、該白濁度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の白濁度として算出する白濁度算出手段の内の、鏡面度算出手段を含む少なくとも三つの算出手段を備えることを特徴とする表面性状測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/57 ,  G01B 11/25 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01N21/57 ,  G01B11/25 H ,  G01B11/30
Fターム (37件)：
2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB25 ,  2F065CC02 ,  2F065CC07 ,  2F065CC31 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH01 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR05 ,  2F065RR06 ,  2F065SS13 ,  2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059HH02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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