特許
J-GLOBAL ID:200903044630941426
表面性状測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
進藤 純一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-151317
公開番号(公開出願番号):特開2009-300085
出願日: 2008年06月10日
公開日(公表日): 2009年12月24日
要約:
【課題】反射像を撮影して表面性状を測定する表面性状測定装置の光源部の入射角およびデジタルカメラ等の固定撮像素子の受光角を多様に変更でき、且つその調整を無段階に簡単に行える表面性状測定装置を提供する。【解決手段】ベース1に半円状の摺動ガイド13を固定し、摺動ガイド13上に摺動子33,43を摺動自在に取り付けて、その一方にデジタルカメラ31を固定し、他方に光源部41を固定する。そして、それら摺動子33,43にそれぞれ円弧ラック51,61を固定し、調節ツマミ81の操作により歯車52,62および円弧ラック51,61を介して摺動子33,43を移動させ、光源部41とデジタルカメラ31を互いに反対方向に同じ角度だけ回転させることができるようにする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
測定面に対する光源部の入射角および固定撮像素子の受光角を変更して任意の角度位置で測定できるよう、前記光源部と前記固定撮像素子を、同心円周上を前記測定面の垂線に対し対称に且つ同時に無段階に移動可能とするガイド手段を備えたことを特徴とする表面性状測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/57
, G01B11/30 102
Fターム (14件):
2F065AA50
, 2F065FF04
, 2F065HH18
, 2F065JJ07
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065MM13
, 2F065MM23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE02
, 2G059KK04
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)
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