特許
J-GLOBAL ID：201203055697994580
光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-254066
公開番号（公開出願番号）：特開2012-103208
出願日： 2010年11月12日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】高精度な分光測定が可能な光学装置を提供する。【解決手段】光学装置1は、テレセントリック光学系31と、波長可変干渉フィルター5と、検出部32と、を備え、波長可変干渉フィルター5は、第一基板51と、可動部、および保持部を備えた第二基板52と、第一基板51に設けられた第一反射膜56と、可動部に設けられた第二反射膜57と、可動部を変位させる静電アクチュエーターと、を備え、第一反射膜56および第二反射膜57には、可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域Gが設定され、テレセントリック光学系31は、入射光の主光線が平行、かつ第一反射膜に対して垂直となるように、入射光を前記波長可変干渉フィルターに導くとともに、測定有効領域G内に入射光を集光させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
入射光のうち、多重干渉により強め合った光を透過させる波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターに前記入射光を導くテレセントリック光学系と、
前記波長可変干渉フィルターを透過した光を検出する検出部と、を具備し、
前記波長可変干渉フィルターは、
第一基板と、
前記第一基板に対向し、可動部、および前記可動部の外周を保持して前記可動部を前記第一基板に対して進退移動可能に保持する保持部を備えた第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記可動部に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、
前記可動部を変位させて前記ギャップの寸法を変化させるギャップ可変部と、
を備え、
前記第一反射膜および前記第二反射膜には、前記ギャップ可変部により前記可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に、予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域が設定され、
前記テレセントリック光学系により、前記入射光の主光線が前記第一反射膜の面または前記第二反射膜の面に対して垂直に導かれ、前記測定有効領域内に前記入射光を集光させる
ことを特徴とする光学装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (24件)：
2G020AA03
, 2G020AA04
, 2G020CC23
, 2G020CD03
, 2G020CD15
, 2G020CD24
, 2H141MA22
, 2H141MB28
, 2H141MC01
, 2H141MC05
, 2H141MC06
, 2H141MC09
, 2H141MD04
, 2H141MD38
, 2H141ME01
, 2H141ME09
, 2H141ME18
, 2H141ME19
, 2H141ME23
, 2H141MF30
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ16
, 2H141MZ18
