特許
J-GLOBAL ID：201003079319094301

光フィルタ及びそれを備えた光モジュール

発明者：
花村 雄基

花村 雄基 について

, 
舟川 剛夫

舟川 剛夫 について

, 
舩坂 司

舩坂 司 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  大浪 一徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-313306
公開番号（公開出願番号）：特開2010-139552
出願日： 2008年12月09日
公開日（公表日）： 2010年06月24日
要約：
【課題】ミラー間のギャップを可変させた場合においても分光特性に優れた光を取り出すことができ、しかも取り出す光の分光特性を低下させることなく良好に維持することができる光フィルタ及びそれを備えた光モジュールを提供する。【解決手段】本発明の光フィルタ1は、第1の基板2と、これに対向して接合され、第1の凹部5及び第2の凹部7が形成された第2の基板3と、第1の凹部5に第1のギャップを介して設けられたミラー4A、4Bと、ミラー4A、4Bの周囲に第2のギャップを介して設けられた一対の電極6A、6Bと、第1の基板2に形成された第1のダイアフラム部8と、第1のダイアフラム部8の内周側に形成された第2のダイアフラム部9とを備えた。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
互いに対向した状態で接合または接着され、互いに対向する面のいずれか一方または双方に1つ以上の段差を有する凹部が形成された第1の基板及び第2の基板と、 前記凹部の前記第1の基板及び第2の基板の対向する面に第1のギャップを介して設けられた一対のミラーと、 前記一対のミラーの周囲かつ前記第1の基板及び第2の基板の対向する面に第2のギャップを介して設けられた一対の電極と、 前記一対のミラーの周囲かつ前記第1の基板及び第2の基板のいずれか一方または双方に形成された第1のダイアフラム部と、 前記第1のダイアフラム部の内周側及び外周側のいずれか一方または双方に形成された第2のダイアフラム部と、 を備えてなることを特徴とする光フィルタ。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/20 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G02B26/00 ,  G02B5/20 ,  B81B3/00
Fターム (32件)：
2H048AA01 ,  2H048AA12 ,  2H048AA26 ,  2H048AA29 ,  2H048GA12 ,  2H048GA25 ,  2H141MA22 ,  2H141MB23 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141ME01 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF14 ,  2H141MF17 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ24 ,  2H141MZ28 ,  3C081BA28 ,  3C081BA45 ,  3C081BA46 ,  3C081BA53 ,  3C081DA02 ,  3C081DA06 ,  3C081EA07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM