特許
J-GLOBAL ID：201203060609451029
プローブユニットおよび基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-256462
公開番号（公開出願番号）：特開2012-107965
出願日： 2010年11月17日
公開日（公表日）： 2012年06月07日
要約：
【課題】検査対象体やプローブピンの損傷の発生を回避しつつプロービングの効率を向上させる。【解決手段】弾性変形可能に構成されたプローブピン11と、プローブピン11の基端部11aが固定される固定部12と、プローブピン11の長さ方向に沿ったプローブピン11の移動を許容しつつプローブピン11の先端部11b側を支持する移動規制部13と、プローブピン11の中央部11cを湾曲するように弾性変形させることによって移動規制部13からの先端部11bの突出量を変化させる変形機構15とを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象体に対する電気的検査に用いられるプローブユニットであって、
弾性変形可能に構成されたプローブピンと、当該プローブピンの基端部が固定される固定部と、前記プローブピンの長さ方向に沿った当該プローブピンの移動を許容しつつ当該長さ方向に対して直交する方向への当該プローブピンの先端部側の移動を規制する移動規制部と、前記プローブピンの中央部を湾曲するように弾性変形させることによって前記移動規制部からの前記先端部の突出量を変化させる変形機構とを備えているプローブユニット。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/02
, H05K 3/00
G01R1/073 D
, G01R31/02
, H05K3/00 T
2G011AA02
, 2G011AA15
, 2G011AA16
, 2G011AB07
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE01
, 2G011AF07
, 2G014AA01
, 2G014AB59
, 2G014AC10
