特許
J-GLOBAL ID：201003010133295366
プローブユニットおよび検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-230800
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066051
出願日： 2008年09月09日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】プローブ間のピッチの狭小化を実現する。【解決手段】複数のプローブ11を保持する保持部12を備え、保持部12は、挿通孔41が形成された保持板31と、挿通孔42が形成されて保持板31に平行な第1の向きにスライド可能に配設された保持板32と、挿通孔43が形成されて第1の向きとは逆向きの第2の向きにスライド可能に保持板31と保持板32との間に配設された保持板33とを備え、互いに隣接する一対のプローブ11は、各先端部11a側が一対の挿通孔41に個別に挿通させられると共に各基端部11b側が1つの挿通孔42および1つの挿通孔43に挿通させられた状態において、各保持板32,33が第1の向きおよび第2の向きにそれぞれスライドさせられることによって各先端部11aのピッチが挿通孔41のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で保持されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
弾性変形可能な複数のプローブと、当該各プローブを保持する保持部とを備えたプローブユニットであって、
前記保持部は、前記各プローブの各々の先端部側を挿通させる第1挿通孔が形成された第1保持板と、前記各プローブの各々の基端部側を挿通させる第2挿通孔が形成されると共に前記第1保持板に平行な第1の向きにスライド可能に当該第1保持板に対向するように配設された第2保持板と、前記各基端部側を挿通させる第3挿通孔が形成されると共に前記第1保持板と前記第2保持板との間において前記第1の向きとは逆向きの第2の向きにスライド可能に当該第1保持板に対向するように配設された第3保持板とを備え、
互いに隣接する一対の前記プローブは、各々の前記先端部側が一対の前記第1挿通孔に個別に挿通させられると共に各々の前記基端部側が1つの前記第2挿通孔および1つの前記第3挿通孔に挿通させられた状態において、前記第2保持板および前記第3保持板が前記第1の向きおよび前記第2の向きにそれぞれスライドさせられることによって当該各先端部のピッチが当該一対の第1挿通孔のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で前記保持部によって保持されているプローブユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G011AA02
, 2G011AA15
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
