特許
J-GLOBAL ID：201203068512456728

ケイ素含有膜形成用組成物、ケイ素含有膜形成基板及びこれを用いたパターン形成方法

発明者：
荻原 勤

荻原 勤 について

, 
上田 貴史

上田 貴史 について

, 
矢野 俊治

矢野 俊治 について

, 
長谷川 幸士

長谷川 幸士 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-195379
公開番号（公開出願番号）：特開2012-053253
出願日： 2010年09月01日
公開日（公表日）： 2012年03月15日
要約：
【課題】多層レジスト法において、良好なドライエッチングマスクとして使用できるケイ素含有膜を形成でき、特に上層のフォトレジストとのエッチング選択性が良好な熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物の提供。【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される1種又は2種以上の加水分解性ケイ素化合物と、下記一般式(2-1)で表される加水分解性ケイ素化合物及び下記一般式(2-2)で表される反応性化合物からなる群から選ばれる1種又は2種以上の化合物とを加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、R1m1Si(OR2)(4-m1)(1)R3m3Si(OR4)(4-m3)(2-1)U(OR5)m5(OR6)m6(O)m7/2(2-2)(B)特定の1種又は2種以上の熱架橋促進剤(C)炭素数が1〜30の1価又は2価以上の有機酸(D)有機溶剤を含むことを特徴とする熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において成膜されるケイ素含有膜を形成するための熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物であって、少なくとも、 (A)下記一般式(1)で表される1種又は2種以上の加水分解性ケイ素化合物と、下記一般式(2-1)で表される加水分解性ケイ素化合物及び下記一般式(2-2)で表される反応性化合物からなる群から選ばれる1種又は2種以上の化合物とを加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、 R1m1Si(OR2)(4-m1) (1) R3m3Si(OR4)(4-m3) (2-1) U(OR5)m5(OR6)m6(O)m7/2 (2-2) (式中、R1は1個以上のフッ素原子で置換されている炭素数1〜30の1価の有機基であり、R3は水素原子又は炭素数1〜30の1価の有機基である。R1、R3はそれぞれ同じでも異なっても良い。R2、R4は炭素数1〜6のアルキル基であり、m1は1≦m1≦3を、m3は0≦m3≦3を満たす整数である。R5、R6は炭素数1〜30の有機基である。m5+m6+m7/2はUの種類により決まる価数であり、m5、m6、m7はそれぞれ0以上の整数、Uは炭素とケイ素を除く周期律表のIII族、IV族、及びV族のいずれかの元素である。) (B)下記一般式(3)又は(4)で表される1種又は2種以上の熱架橋促進剤、 LaHbX (3) (式中、Lはリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、及びセシウムのいずれか、Xは水酸基又は炭素数1〜30の1価又は2価以上の有機酸基であり、aは1以上の整数、bは0又は1以上の整数で、a+bは水酸基又は有機酸基の価数である。) Ma’Hb’A (4) (式中、Mはスルホニウム、ヨードニウム、及びアンモニウムのいずれかであり、Aは水酸基、炭素数1〜30の1価若しくは2価以上の有機酸基、又は非求核性対向イオンであり、a’は1以上の整数、b’は0又は1以上の整数で、a’+b’は水酸基、有機酸基、又は非求核性対向イオンの価数である。) (C)炭素数が1〜30の1価又は2価以上の有機酸、 (D)有機溶剤 を含むことを特徴とする熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/075 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/26 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/075 521 ,  G03F7/11 502 ,  G03F7/26 511 ,  H01L21/30 502R
Fターム (42件)：
2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096DA04 ,  2H096EA03 ,  2H096EA05 ,  2H096EA23 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA23 ,  2H096KA06 ,  2H096KA19 ,  2H125AF17N ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41N ,  2H125AH11 ,  2H125AH17 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM85N ,  2H125AM99N ,  2H125AN02N ,  2H125AN38N ,  2H125AN39P ,  2H125AN51P ,  2H125AN82P ,  2H125AP01N ,  2H125BA01N ,  2H125BA24N ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125DA21 ,  2H125EA01N ,  2H125FA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM