特許
J-GLOBAL ID：201203068698850870
耐クラック性熱曲げアクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池田 成人
, 山口 和弘
, 野田 雅一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-516434
公開番号（公開出願番号）：特表2012-530624
出願日： 2009年08月25日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：
【課題】優れた熱曲げアクチュエータなどを提供する。【解決手段】熱曲げアクチュエータは、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、を含む。アクティブビームに電流が流れると、アクティブビームはパッシブビームに対して膨張し、その結果、アクチュエータの曲げが生じる。パッシブビームは、窒化シリコンから成る第1層と、二酸化シリコンから成る第2層と、を含む。第2層は、第1層とアクティブビームとの間に狭持され、第1層のための断熱をもたらす。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、
前記アクティブビームに電流を通したときに、前記アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的にアクチュエータの曲げが生じるように、前記アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、
を備え、
前記パッシブビームが、窒化シリコンから構成される第1層と、二酸化シリコンから構成される第2層とを含み、前記第2層が、前記第1層と前記アクティブビームとの間に狭持された、熱曲げアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2C057AF54
, 2C057AG39
, 2C057AG43
, 2C057AG55
, 2C057BA05
, 2C057BA15
