特許
J-GLOBAL ID：201203069147890525
電子顕微鏡検査のサンプル担体のための保持器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
加藤 朝道
, 内田 潔人
, 青木 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-259339
公開番号（公開出願番号）：特開2012-119315
出願日： 2011年11月28日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：
【課題】安定でストレスフリーな電子顕微鏡検査のサンプル担体の保持が可能なマウントを提供する。【解決手段】マウントは、中央領域に貫通する開口部を有する基板と、開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための保持装置とを含み、保持装置は、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための、少なくとも2つの相互に独立的なクリップ部材を含み、クリップ部材が、基板から開口部の方向に向かって延在し、クリップ部材が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持可能である。電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置及び当該載置装置を使用する方法も提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡検査のサンプル担体(310)を保持するためのマウント(100、200)であって、
当該マウント(100、200)は、
中央領域に貫通する開口部(103)を有する基板(101)と、
該開口部(103)の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体(310)の支持表面(107)と、
基板(101)に備えられた支持表面(107)で、サンプル担体(310)を摩擦的な係合によって保持するための保持装置(104a、104b)と、
を含み、
前記保持装置(104a、104b)は、サンプル担体(310)を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも2つの相互に独立的なクリップ部材(104a、104b)を含み、
前記クリップ部材(104a、104b)が、基板(101)から該開口部(103)へ向かって延在すること、
前記クリップ部材(104a、104b)が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体(310)の端部領域(313a、313b)でサンプル担体(310)を支持表面(107)に保持することができること、
を特徴とするマウント。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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