特許
J-GLOBAL ID:201203072002938660

感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、並びに、プリント配線板及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 膝舘 祥治 ,  小林 美貴 ,  醍醐 美知子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-082273
公開番号(公開出願番号):特開2012-215787
出願日: 2011年04月01日
公開日(公表日): 2012年11月08日
要約:
【課題】直接描画露光法に用いられる両波長に対応可能で、光感度に優れ、形成したレジスト膜のテント信頼性や密着性及び形成したレジストパターンの解像度を向上させることが可能な感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】感光性樹脂組成物をバインダーポリマー、ペンタエリスリトールアルキレンオキシ化(メタ)アクリレート化合物、光重合開始剤及び下記一般式(1)又は一般式(2)で表されるピラゾリン化合物の少なくとも1種を含んで構成する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダーポリマーと、 ペンタエリスリトールアルキレンオキシ化(メタ)アクリレート化合物と、 光重合開始剤と、 下記一般式(1)又は一般式(2)で表されるピラゾリン化合物の少なくとも1種と、 を含む感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  C08F 2/50
FI (6件):
G03F7/031 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D ,  C08F2/50
Fターム (75件):
2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC35 ,  2H125AC38 ,  2H125AC63 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN10P ,  2H125AN12P ,  2H125AN35P ,  2H125AN47P ,  2H125AN66P ,  2H125AN82P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA13 ,  2H125CB03 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011QA23 ,  4J011QB16 ,  4J011QB20 ,  4J011QB24 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA41 ,  4J011SA51 ,  4J011SA78 ,  4J011SA79 ,  4J011SA82 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  5E339AB01 ,  5E339AD00 ,  5E339BC01 ,  5E339BD05 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE12 ,  5E339CE16 ,  5E339CE18 ,  5E339CE19 ,  5E339CF06 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD03 ,  5E339GG10 ,  5E343AA01 ,  5E343AA12 ,  5E343BB22 ,  5E343BB52 ,  5E343CC62 ,  5E343DD32 ,  5E343ER12 ,  5E343ER13 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG06 ,  5E343GG08 ,  5E343GG20
引用特許:
審査官引用 (7件)
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