特許
J-GLOBAL ID：200903078687359539

感光性樹脂組成物およびその積層体

発明者：
山田 有里

山田 有里 について

, 
五十嵐 勉

五十嵐 勉 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-260003
公開番号（公開出願番号）：特開2007-122028
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】現像後解像性が良好で、現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、硬化膜柔軟性に優れ、テンティング性、良好なエッチング液耐性を有する感光性樹脂組成物、及び該組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体を提供すること、ならびに、該積層体を用いたレジストパターンの形成方法、及び導体パターンの製造方法を提供する。【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、共重合成分としてベンジル(メタ)アクリレートを含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:10〜90質量%、(b)光重合性不飽和化合物:5〜70質量%、及び(c)光重合開始剤として特定の化合物:0.1〜20質量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、共重合成分としてベンジル(メタ)アクリレートを10〜90質量%含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:10〜90質量%、(b)光重合性不飽和化合物:5〜70質量%、(c)光重合開始剤として下記一般式(I)で表される化合物を0.1〜20質量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  C08F 2/50 ,  C08F 2/44
FI (11件)：
G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 521 ,  G03F7/027 502 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D ,  C08F2/50 ,  C08F2/44 C
Fターム (67件)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC45 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA42 ,  2H025FA43 ,  2H025FA48 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04 ,  2H096LA13 ,  2H096LA17 ,  4J011PA69 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA17 ,  4J011RA03 ,  4J011RA12 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA88 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E339GG02 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB15 ,  5E343BB24 ,  5E343BB34 ,  5E343BB44 ,  5E343BB54 ,  5E343CC62 ,  5E343DD21 ,  5E343EE02 ,  5E343EE13 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (8件)
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